판매용 중고 STAUBLI RX60 #9205956

STAUBLI RX60은 반도체 제조 응용 분야에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치 는 간단 하고 컴팩트한 "디자인 '을 갖추고 있으며," 웨이퍼' 를 정확 하고 신뢰 할 만한 처리 를 할 수 있는 견고 한 구성 요소 를 자랑 한다. RX60 은 이중 축 동작 제어 (Dual-axis Motion Control), 정확한 포지셔닝 기능, 다양한 웨이퍼 크기를 수용하는 기능 등 다양한 주요 기능을 갖추고 있습니다. 수평 및 수직 동작을 모두 허용하는 다중 축 설계는 단일 (single) 또는 양면 (double-sided), 라운드 (round), 사각형 (square) 또는 사각형 (rectangular) 을 포함한 다양한 유형의 웨이퍼를 수용할 수 있습니다. STAUBLI RX60에는 자동 웨이퍼 처리 암이 장착되어 있으며, 최대 200 개의 웨이퍼 위치를 지원할 수 있습니다. 팔 은 "알루미늄 '과" 스테인리스' 강 으로 만들어졌으며, 정밀 하고 반복 할 수 있는 운동 을 보장 하기 위해 "서보 모터 '장치 로 구동 된다. 또한, 팔에는 웨이퍼를 안전하게 보관 및 방출하는 공압 활성화 진공 시스템이 있습니다. RX60의 포지셔닝 정확도도 매우 정확하며, 반복 가능성 정확도는 0.04mm, 해상도는 0.002mm입니다. 또한, 이 장치는 최대 속도 60m/s 를 처리하여 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리를 지원합니다. 안전성 향상을 위해 STAUBLI RX60에는 비상 정지 버튼, 탈주 안전 휠, 연동 메커니즘 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 는 "클린룸 '이나 휘발성 화합물 을 함유 한 다른 위치 와 같은 위험 한 지역 에서 사용 하도록 평가 된다. 결론적으로, RX60 은 신뢰성이 높고 정확한 웨이퍼 처리기로, 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 내구성 있는 설계, 정확 한 위치 정밀도, 고속 용량, 안전 장치 등 은 "반도체 '제조 환경 에서 사용 할 수 있는 훌륭 한 선택 이다.