판매용 중고 STAUBLI RX60 #9022227

Stäubli STAUBLI RX60은 실리콘, GaAs, SOI 및 기타 웨이퍼를 운송 및 변경하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 고급 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 프로세싱 챔버 안팎으로 웨이퍼를 이동하는 안전하고, 효율적이며, 정확한 방법을 제공합니다. Stäubli RX60에는 웨이퍼 처리를 정확하게 처리 할 수있는 다중 축 로봇 디자인이 있습니다. 회전 주기는 분당 최대 2000 회전 (rotation cycle) 으로 최대 6 개의 웨이퍼를 동시에 선택하고 정렬 할 수 있습니다. 또한, 최대 18 킬로그램까지 들어 올릴 수 있으며, 반도체 제조 공정에 종종 사용되는 더 단단하고 무거운 웨이퍼를 조작 할 수 있습니다. Stäubli STAUBLI RX60을 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로 만드는 것은 안전 지향 구조입니다. 안전 울타리, E-스톱 (E-stop) 및 장애물 또는 비정상적인 상황을 감지하는 다양한 안전 센서가 장착되어 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '처리기 를 산업 환경 에서 안전 하고 안정적 으로 사용 할 수 있도록 한다. Stäubli RX60에는 이상적인 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 가 될 수있는 여러 가지 다른 기능도 있습니다. 프로그래밍 가능한 경로를 통해 여러 단계 (pick-and-place steps) 를 실행할 수 있습니다. 또한, "핸들러 '는 진공" 펌프' 나 청정실 "시스템 '과 같은 여러 다른 장치 들 과 함께 사용 될 수 도 있다. 유지 보수 및 문제 해결을 위해 Stäubli STAUBLI RX60에는 원격 진단 및 시스템 설정을 위한 사용자 친화적 GUI (Graphical User Interface) 및 RST (Remote Service Tool) 가 장착되어 있습니다. 이 GUI 를 통해 엔지니어는 시스템의 다른 구성 요소에 신속하게 액세스할 수 있으며, 따라서 모든 문제를 신속하게 파악하고 복구할 수 있습니다. 결론적으로, Stäubli RX60은 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로, 산업 환경에서 정확하고 안전한 웨이퍼 처리를 제공합니다. 다중 축 설계, 안전 기능 및 유지 관리 도구는 반도체 처리에 이상적인 선택입니다.