판매용 중고 STAUBLI RX60 #188858

STAUBLI RX60은 자동 프로세스 및 패키징 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 기계는 최대 생산성을 위해 최대 600mm/s의 속도로 최대 6 인치 웨이퍼를 처리합니다. 빠른 처리 시간은 주기 시간을 최소화하고 처리량을 증가시킵니다. RX60 은 여러 개의 자동화 인터페이스 (Automation Interface) 를 통해 운영에 대한 유연한 제어를 지원하므로 사용자가 가장 효율적인 툴 경로를 선택할 수 있습니다. STAUBLI RX60은 최첨단 비전 장비를 사용하여 웨이퍼를 정확하고 정확하게 배치합니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 의 마커 점에서 적절한 오프셋을 확인하고 측정하여 빠르고 정확하게 등록할 수 있습니다. 또한 CCD 카메라 및 통합 소프트웨어 패키지를 통해 운영자는 웨이퍼를 정확하고 신속하게 매핑 할 수 있습니다. 이 기능은 여러 웨이퍼 크기와 구성을 다룰 때 매우 유용합니다. 서보 제어 로더 및 언로더는 시스템의 동작 유연성을 높입니다. 또한 초기 장치 설정에 필요한 작업 수를 최소화하기 위해 빠른 릴리즈 척 (quick-release chuck) 이 장착되어 있습니다. 이 기계는 운영자의 개입이 거의없이 안전하고 신속하게 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 RX60에는 고급 닫힌 루프 제어 도구와 포괄적인 내결함성 기능이 있습니다. 이 자산은 여러 작업을 동시에 수행하면서 신속하고 안정적인 운영을 제공하도록 설계되어, 다운타임을 줄이고, 처리량을 증가시킵니다. 자동 진단 기능을 갖춘 포괄적인 내결함성/경보 모델 (fault-tolerant/alarm model) 로, 이상 또는 기계적 결함의 작동자를 감지, 진단 및 경고합니다. STAUBLI RX60에는 최대 400 개의 웨이퍼를 저장할 수있는 콜드 스토리지 챔버가 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼를 로드 및 언로드하는 데 필요한 운영 시간을 줄일 수 있습니다. 운영자가 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 프로그램을 사용자 정의할 수 있는 효율적인 소프트웨어 (software) 패키지를 사용할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 프로세스 자동화를 가능하게 하며, 다른 공장 자동화 시스템과 통합될 수도 있습니다. RX60 은 처리량과 정확도가 높은 자동화된 프로세스/패키징 (Packaging) 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 첨단 비전 (Advanced Vision) 장비는 정확하고 정확한 웨이퍼 이동을 제공하는 반면, 내장형 서보 제어 로더 및 언로더는 빠르고 안정적인 작동을 보장합니다. 열정전기 챔버 (thermostatic chamber) 및 효율적인 소프트웨어 패키지는 신속하고 효과적인 프로세스 자동화를 가능하게 하며, 포괄적인 경보 시스템은 다운타임과 인적 개입을 최소화합니다.