판매용 중고 STAUBLI RX60 L #9022312
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STAUBLI RX60 L은 반도체 제조 과정에서 최대 600mm 웨이퍼 기판을 운송하도록 설계된 고성능 웨이퍼 처리 로봇입니다. 고품질, 정확한 제품의 처리량 생산을 위해 맞춤형 산업 등급 멀티 축 로봇 암입니다. RX60 L은 직관적이고 프로그래밍 가능한 교육 펜던트로, 빠른 설정과 작동을 가능하게 합니다. 이 로봇은 웨이퍼 재매핑, 필드 정렬, 다이 투 다이 본딩, 일시 중단된 다이 작업, 기타 웨이퍼 처리 및 검사 작업을 위한 고성능, 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 견고한 6 축 디자인은 최대 610mm, 최고 속도 3.2m/s2를 제공합니다. X/Y의 경우 0.03mm, Z축의 경우 0.02mm로 높은 반복 가능성 정확도를 갖습니다. 또한 테이블 관리, 웨이퍼 배치 정확도 및 웨이퍼 처리 안전에 중점을 둡니다. STAUBLI RX60 L에는 3D 검사 또는 마커 패턴 추적을 제공하여 정확도 및 프로세스 제어를 향상시킬 수있는 내부 비전 구성 요소가 포함되어 있습니다. 사용이 간편하고 안정적인 RX60 L 은 하이엔드 제조 환경에 완벽하게 추가된 제품으로, 운영 비용을 절감하면서 생산성을 향상시킵니다. 암호로 보호되는 안전한 다중 사용자 환경은 사용자에게 가장 편리하고 유연성을 제공합니다. 또한 신속한 문제 해결 및 수리 (F.A.S.T.) 를 위해 필요한 툴과 지원을 제공하는 포괄적인 유지 보수 프로그램도 지원됩니다. STAUBLI RX60 L은 (는) 생산 반도체 작업에 적합하며, 다양한 움직임과 유연성을 갖춘 빠르고 원활한 작동을 제공합니다. 첨단 "로봇 '공학 기술 과 결합 된 직관적 인" 프로그래밍' 환경 은 광범위 한 "응용프로그램 '을 위한 이상적 인 선택 이 된다. 견고한 디자인과 안정적인 성능을 갖춘 RX60 L (RX60 L) 은 까다로운 생산 환경에서 웨이퍼 기판을 조작하고 운송하는 데 탁월한 지원을 제공합니다.
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