판매용 중고 STAUBLI RX60 CRaut #9022317

ID: 9022317
빈티지: 1999
Robot Control console and PC 1999 vintage.
STAUBLI RX60 CRaut Wafer Handler는 광범위한 웨이퍼 처리 프로세스를 자동화하도록 설계된 최첨단 장치입니다. 이 장치는 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계되었으며 복잡한 웨이퍼 (Wafer) 처리 요구 사항을 쉽고 간단하게 관리합니다. RX60 CRaut는 내구성 스테인리스 스틸 프레임 (stainless steel frame) 으로 제작되었으며 모듈 식 카세트 하우징이있는 이동 가능한 캐리지 시스템을 갖춘 단일 챔버 시스템입니다. 이 장치는 웨이퍼 당 1 초 이내에 챔버 안팎으로 웨이퍼를 효율적으로 로드, 언로드, 전송할 수 있습니다. 이것은 크고 복잡한 웨이퍼 처리 작업에 이상적입니다. 이 장치의 온도는 10 ~ 65 ° C (50 ~ 150 ° F) 내에서 +/-2 ° F의 정밀도로 조정하고 모니터링 할 수 있습니다. 이 유효 온도 제어 (effective temperature control) 는 웨이퍼의 특성을 제조 공정 전반에 걸쳐 보존합니다. STAUBLI RX60 CRaut는 온도 조절 외에도 빠르고 쉬운 웨이퍼 클리닝을 제공합니다. 자동 청소 "시스템 '은" 웨이퍼' 에서 입자, 먼지 및 기타 파편 들 을 손상 시키지 않고 제거 해 준다. 또한 통제 및 안전 방식으로 잠재적 오염을 줄입니다. RX60 CRaut에는 다양한 전원 공급 (power-up) 및 움직이는 부품과의 우발적 운영자 접촉을 방지하는 안전 연결 (Safety Interlock) 과 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있어 웨이퍼 처리에 안전하고 효율적인 기계입니다. 전반적으로 STAUBLI RX60 CRaut Wafer Handler는 복잡한 웨이퍼 처리 프로세스를 관리하기위한 안정적이고 효율적인 장치입니다. 정밀 온도 제어, 자동 클리닝 (automated cleaning) 및 다양한 안전 기능으로 설계되어 크고 복잡한 웨이퍼 처리 작업에 적합합니다.
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