판매용 중고 STAUBLI RX160 LCR #9078538

STAUBLI RX160 LCR은 반도체 생산 및 연구 프로세스에서 대량의 집적 회로 웨이퍼를 전송, 정렬 및 테스트 할 때 안정적인 샘플 처리를 제공하는 산업용 웨이퍼 핸들러입니다. 이 공사 는 견고 하고 견고 한 건축물 로, 열악 한 산업 환경 에서 사용 하는 데 적합 하다. RX160 LCR에는 직관적인 사용자 인터페이스와 빠른 프로토콜 변환이 포함 된 인체 공학적 디자인이 있습니다. 일반적으로 8 인치, 6 인치 및 4 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 프런트엔드 PC 소프트웨어를 통해 제어 할 수 있습니다. STAUBLI RX160 LCR에는 6 개의 독립 선형 드라이브 시스템이 장착되어 있으므로 세 축 모두에서 정확하고 정확한 방식으로 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 또한 각 웨이퍼의 정확한 위치를 찾아서 측정하기위한 내장 다이오드 레이저 (diode laser) 및 선형 인코더 (linear encoder) 가 있습니다. 이를 통해 RX160 LCR 은 처리 프로세스의 모든 단계에서 wafer 를 정확하게 배치하고 측정할 수 있습니다. STAUBLI RX160 LCR은 이미징, 정렬, 클리닝 및 테스트와 같은 다양한 다른 기능을 수행 할 수도 있습니다. 이 기계에는 웨이퍼 식별을위한 2 개의 광학 눈, 웨이퍼 정렬을위한 웨이퍼 슈트 (wafer chute) 및 웨이퍼를 효율적으로 청소하기위한 6 인치 웨이퍼 클리닝 챔버 (옵션) 가 장착되어 있습니다. 또한 이 기계에는 웨이퍼 좌표 및 치수를 자동으로 측정할 수 있는 측정 모듈 (옵션) 이 있습니다. RX160 LCR에는 공압 방식의 웨이퍼 트랜스퍼 암 (wafer arm) 이 장착되어 있어 홀더에서 웨이퍼 핸들러로 빠르고 정확한 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 웨이퍼 트랜스퍼 암 (Wafer Transfer Arm) 에는 QC (Quality Control) 버튼도 있습니다. QC 버튼은 안전 목적으로 웨이퍼 홀더를 분리하는 데 사용할 수 있으므로 전송 중에 웨이퍼가 떨어지거나 교란 될 수 없습니다. STAUBLI RX160 LCR에는 열 관리 시스템 옵션도 함께 제공됩니다. 이 시스템은 기계에 대한 최적의 작동 상태를 유지하는 데 도움이 되고, 웨이퍼 온도 (Wafer Temperature) 가 처리 과정에서 일관되게 유지됩니다. 결론적으로, RX160 LCR은 산업 등급 연구 및 생산 환경에서 많은 양의 웨이퍼를 빠르고, 정확하고, 안정적으로 처리하도록 설계된 산업용 웨이퍼 핸들러입니다. 강력한 구성, 인체 공학적 설계, 빠른 프로토콜 변환을위한 직관적인 사용자 인터페이스, 광학 이미징, 정렬, 테스트 등의 추가 웨이퍼 처리를 위한 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 따라서 STAUBLI RX160 LCR 웨이퍼 처리기는 웨이퍼 처리 작업에 적합한 선택입니다.