판매용 중고 STAUBLI RX130B #9251365

ID: 9251365
빈티지: 2003
Robots 2003 vintage.
STAUBI RX130B 웨이퍼 핸들러 (Staubi RX130B Wafer Handler) 는 와퍼의 로딩 및 언로드를 처리 챔버에 처리할 수 있는 최첨단 정밀 장비로, 탁월한 정확도와 속도를 제공합니다. 이 장비는 다양한 웨이퍼 기판 및 프로세스를 위해 특별히 설계되었습니다. RX130B는 최대 8인치 (200mm) 웨이퍼를 처리 할 수있는 모듈식 웨이퍼 핸들러입니다. 시스템이 PC 제어를 받아 웨이퍼 시퀀스 (Wafer Sequence) 및 프로세스 매개변수에 대한 완전한 액세스를 제공합니다. 업계 최고의 정확성과 속도를 자랑하는 STAUBLI RX130B는 사용자에게 웨이퍼 처리 요구를 보다 유연하게 제공합니다. 이 장치의 중심에는 신속하고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 전송이 가능한 맞춤형 자동 블레이드 카세트가 있습니다. 카세트는 직접 구동 브러시리스 (brushless) 서보 모터 (servomotor) 에 의해 구동되며 웨이퍼를 정확한 각도로 들어 올리고 회전시킬 수 있습니다. 이는 최고 정확도와 동급 최고의 웨이퍼 로드를 제공합니다. RX130B는 또한 정밀 선형 드라이브 머신 (linear drive machine) 에 의존하여 팔레타이저의 정확하고 부드러운 움직임을 보장합니다. 또한 이 드라이브 도구를 사용하여 웨이퍼 방향 (wafer orientation) 과 배치 (placement) 를 정확하게 제어할 수 있으므로 각 웨이퍼가 정확하게 로드되고 언로드됩니다. 이러한 첨단 정밀도 및 정확성은 유해 환경으로부터 인력을 보호하도록 설계된 안전하고, 관리하기 쉬운 인클로저에 내장되어 있습니다. "캐비닛 '에는 전기 충격 을 방지 하는 접지" 버스 바' 가 부착 되어 있으며, 탈착식 문 은 손쉬운 청소 혹은 정비 가 가능 하다. STAUBLI RX130B는 운영자가 오류를 처리하지 못하도록 안전 기능으로도 설계되었습니다. 이러한 보호 장벽은 웨이퍼 로드 및 언로드를위한 안전한 환경을 제공하는 데 도움이됩니다. 전반적으로, RX130B 의 첨단 기능과 안전성을 통해 안정적이고 정확한 웨이퍼 (wafer) 처리가 필요한 고객에게 이상적인 선택이 됩니다. 전례없는 정확성과 속도로 STAUBLI RX130B는 다양한 웨이퍼 기판 및 프로세스를 쉽게 처리 할 수 있습니다.
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