판매용 중고 STAUBLI RX130 #112259
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STAUBLI RX130 (STAUBI RX130) 은 제조 공정의 생산성과 효율성을 높이기 위해 설계된 고급 로봇 웨이퍼 처리 장비입니다. 컴팩트 한 디자인으로 반도체 및 MEMS 장치의 제작에서 고정밀 응용 프로그램에 적합합니다. RX130에는 컨트롤러가 내장된 6축 운동학적 암 (kinematic arm) 이 장착되어 있어, 높은 반복성으로 복잡한 작업을 수행할 수 있습니다. 이 "로봇 '은 직경 이 300mm 인" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있어서 대부분 의 반도체 제조 공정 에 적합 하다. 또한, 고속 이동 및 정밀 반복 성을 통해 실리콘, 유리, 석영 등 다양한 재료를 사용할 수 있습니다. STAUBLI RX130에는 단순하지만 기능성이 높은 사용자 인터페이스가 있어 복잡한 작업을 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 로봇의 프로그래밍은 Teach Pendant와 STAUBLI 소프트웨어를 실행하는 컴퓨터를 통해 수행됩니다. 이 직관적인 인터페이스를 통해 사용자 정의 (custom) 작업을 손쉽게 구현할 수 있어 프로세스 효율성을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다. 그 에 더하여, "로봇 '암 에는" 로봇' 의 어떤 부분 이 장애물 에 접촉 하면 수술 을 중단 시킬 충돌 탐지 "시스템 '을 포함 하여 인력 의 안전 을 보장 하기 위한 안전 기능 이 있다. RX130에는 처리 중 웨이퍼 (wafer) 표면을 실시간으로 관찰 할 수있는 카메라 장치도 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 "로봇 '을 작동 할 때 온도, 압력, 운동 방법 등 여러 가지" 파라미터' 와 조건 을 쉽게 조정 할 수 있다. 이 기능은 웨이퍼 손상의 잠재적 위험을 최소화하고 전체 안전을 증가시킵니다. 또한, 카메라 머신 (camera machine) 을 다른 이미지 처리 시스템과 통합하여 제조 과정에서 품질 제어 및 피드백 (feedback) 을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로 STAUBLI RX130은 견고한 구성, 쉬운 프로그래밍, 높은 정확성 덕분에 다양한 반도체 및 MEMS 제작 작업에 이상적인 선택입니다. 또한 유연한 설계, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용자 정의 어플리케이션 (Custom Application) 및 세밀하게 조정된 프로덕션 프로세스에 적합합니다.
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