판매용 중고 STAUBLI RS80 #9109373

STAUBLI RS80은 반도체 웨이퍼 전송을 위해 높은 정확도, 단일 암 작동을 제공하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 7 개의 모터가있는 힘 제어 6 축 로봇 암을 통합하여 웨이퍼의 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 로봇의 드라이브 시스템은 선형 모터 (linear motor) 를 기반으로 하며, 사용자에게 고속, 고가속, 고해상도를 제공합니다. 처리 장치는 직경이 최대 8 인치 인 개별 웨이퍼를 지원할 수 있습니다. 또한 다양한 두께와 구성의 여러 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 엔드 이펙터 (wafer-handling end-effector) 는 처리 과정에서 웨이퍼를 눌러서 웨이퍼 파손의 위험을 최소화하도록 설계되었습니다. 또한, "로봇 '암 에는 환경 상 의 위험 으로부터 보호 하기 위해 보호 인클로저 가 장착 되어 있다. RS80에는 다양한 안전 기능도 장착되어 있습니다. 보호 인클로저 (Protection Enclosure) 에 액세스하는 동안 팔이 움직이지 않도록 하는 안전 인터 록 (Safety Interlock), 비상 사태의 경우 팔을 빨리 정지시키는 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch), 로봇 팔이 제한된 구역에 들어가는 것을 막는 경커튼 머신 (Light Curtain Machine) 이 포함됩니다. 안전 기능 외에도 STAUBLI RS80은 캔틸레버형 모터 드라이브 (cantilevered motor driven) 로, 발 인쇄를 최소화하고 유지 보수 및 설치를 용이하게합니다. "로봇 '은 반발 을 없애고 진동 과 교란 을 감소 시켜 정확성 을 향상 시키는 고급 폐쇄 루프 (closed loop) 도구 로 구동 된다. 이 로봇 암은 로봇을 제어하기 위해 STAUBLI에서 제공하는 독점 언어 인 로봇 컨트롤 (RobotControl) (RobotControl (tm)) 을 포함하여 다양한 소프트웨어 언어를 사용하여 프로그래밍 할 수 있습니다. 로봇은 PC 제어 시스템과도 호환되며, 사용자는 자신의 시스템에서 로봇을 제어 할 수 있습니다. 전반적으로, RS80은 반도체 생산 환경에서 사용하기에 이상적인 고성능, 높은 정확도의 웨이퍼 처리 자산입니다. 안전 기능, 강제 제어 모션 기능, 다양한 소프트웨어 프로그램을 통해 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 작업에 이상적입니다.