판매용 중고 STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsi #9255539

ID: 9255539
빈티지: 2004
Robot 2004 vintage.
Stäubli STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsi는 반도체 산업의 웨이퍼 이전 및 조작에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 제어된 청소기 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 높은 정확도, 고속 웨이퍼 (wafer) 정렬 및 처리에 사용할 수 있습니다. Stäubli CS7Mfsi RX90LCRfsi는 수직 장착 RC 제어 장치, 드라이브 베이스, 통합 백라이트 및 웨이퍼 척으로 장착 된 높은 토크 6 축 로봇으로 구성됩니다. 전체 스트로크, 전체 범위 이동 900mm, 배터리 백업, 긴급 정지, 전원 장애 경보, 모든 시스템 상태 구성 요소 모니터링 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한 Stäubli STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsi는 전체 모션 범위에서 고정밀 제어 및 정확한 정렬을 위해 정확한 선형 공기 베어링 모션을 갖습니다. Stäubli CS7Mfsi RX90LCRfsi는 클린 룸 제조 환경에서 발견되는 고품질 시스템에 사용하도록 설계되었습니다. 강력한 부식 내성 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 쉽게 위생될 수 있습니다. STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsi는 단일 작업에서 여러 웨이퍼 전송을 지원하며 습식/건식 웨이퍼 장착 기능이 있습니다. 또한 다양한 엔드 이펙터 (end effector) 를 번갈아 사용할 수 있으며 다양한 로봇 처리 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. Stäubli CS7Mfsi RX90LCRfsi에는 여러 가지 고급 모션 제어 기능이 장착되어 있습니다. STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsi에는 2 개의 완전히 프로그래밍 가능한 디지털 서보 축이 있으며 더 빠른 응답, 정밀 기동 및 빠른 동작을 제공합니다. 또한 모든 기능에 대한 비주얼 디스플레이 (Visual Display) 와 효율적인 프로그래밍을 포함하는 고급 직관적인 사용자 인터페이스가 제공됩니다. 또한 CS7Mfsi RX90LCRfsi 는 많은 고급 소프트웨어 패키지와 호환되므로 기존 자동 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 전반적으로 Stäubli STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsi는 클린 룸 제조 환경에서 사용하도록 설계된 다용도, 사용하기 쉬운 웨이퍼 핸들러입니다. 내구성, 부식 내구성 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 다양한 모션, 정밀한 선형 공기 베어링 모션 및 고급 모션 컨트롤 기능을 제공합니다. 또한 Stäubli CS7Mfsi RX90LCRfsi에는 직관적 인 프로그래밍 및 고급 소프트웨어 통합 기능이 포함되어 있으므로 높은 정확도, 고속 웨이퍼 정렬 및 처리에 이상적인 선택입니다.
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