판매용 중고 STAUBLI CS7fsi RX90CR #293624190

ID: 293624190
빈티지: 2000
Robot for FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury / Zeta 2000 vintage.
Stäubli STAUBLI CS7fsi RX90CR은 반도체 업계에서 기판을 안정적이고 효율적으로 전송하도록 설계된 고성능 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. CS7fsi RX90CR은 최대 6인치 (150mm) 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 로드 용량은 최대 165 웨이퍼, 언로드 용량은 최대 350 웨이퍼입니다. 장비에는 매우 정밀한 공기 베어링 게이트 및 피커 기술이 장착되어 있습니다. 둘 다 접촉이 적은 어깨 구조로 설계되어 매우 0.02mm Z 축 기울기 제어 및 안정성으로 정확한 움직임을 보장합니다. 이 시스템은 부드럽고 부드러운 동작을 제공하는 듀얼 스윙 암 (dual swing arm) 로봇 동작으로 설계되어 웨이퍼를 쉽게 선택, 회전, 로드 및 언로드할 수 있습니다. 또한 STAUBLI CS7fsi RX90CR에는 웨이퍼 ID를 스캔 및 확인하기 위해 고급 카메라 장치가 장착되어 있습니다. 카메라 머신 (Camera Machine) 은 초당 최대 1000 개의 이미지를 캡처할 수 있으며, 정밀도를 포함하므로 웨이퍼를 효율적으로 추적하고 올바르게 식별 할 수 있습니다. 또한 CS7fsi RX90CR은 사용자에게 친숙한 인터페이스 워크스테이션으로 설계되었습니다. 이 제품은 명확하고 간결한 지침을 제공하는 컬러 그래픽 HMI (Color Graphic HMI) 와 매개변수와 지침을 입력하는 데 필요한 화면 도움말 (On-Screen Help) 을 제공하여 학습 곡선을 최소화하고 작업을 쉽게 수행할 수 있도록 합니다. 또한 IEEE 1394, 직렬 RS232/485 및 14 포트 연결과 같은 다양한 통신 버스가 포함되어 있어 뛰어난 유연성을 제공합니다. STAUBLI CS7fsi RX90CR에는 향상된 안전 시스템 (예: 경량 커튼) 을 사용하여 인간 운영자의 존재, 전력 안전 릴레이 및 추가 보호를위한 안전 상자 (Safety box) 가 있습니다. 안전 상자는 매개변수에 대한 무단 액세스를 방지하고, 자산에 대한 부주의한 변조를 방지하도록 설계되었습니다. 전반적으로, Stäubli CS7fsi RX90CR은 뛰어난 기능과 기능을 갖춘 고성능 웨이퍼 핸들러로, 까다로운 반도체 산업 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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