판매용 중고 STAR SP-600F #9176571

STAR SP-600F는 반도체 생산에 사용하도록 설계된 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. SP-600F 는 150mm 에서 200mm 까지 다양한 크기의 실리콘 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. STAR SP-600F는 5 축 제어 장비를 갖춘 3 축 고니 오미터 (goniometer) 로봇 암을 특징으로하며, 웨이퍼를 정확하게 배치하고 웨이퍼 척에 정확하게 배치 할 수 있습니다. 또한 저소음 디자인 (low noise design) 을 통해 프로덕션 환경에서 사용할 수 있습니다. SP-600F 는 wafer transfer stage, pick-and-place robot arm, wafer stage controller 등 여러 가지 중요한 구성 요소로 구성됩니다. 전송 단계는 픽앤 플레이스 (pick-and-place) 로봇 암과 웨이퍼 스테이지 사이에 웨이퍼를 운송하도록 설계되었습니다. 픽앤 플레이스 로봇 암은 3 개의 축, 2 개의 서보 모터와 1 개의 스테퍼 모터로 구성됩니다. 내구성이 뛰어난 브러시리스 (Brushless) DC 모터가 특징이며, 부하 용량이 높아 로봇 암이 전송 스테이지와 웨이퍼 스테이지 사이에 웨이퍼를 정확하게 전달할 수 있습니다. 웨이퍼 스테이지 컨트롤러는 로봇 암 (robot arm) 과 웨이퍼 척 (wafer chuck) 의 움직임을 제어합니다. STAR SP-600F 는 또한 비전 시스템 (비전 시스템) 을 갖추고 있으며, 이 시스템은 웨이퍼 ID 를 인식하는 데 사용되므로 웨이퍼를 삭제하지 않을 수 있습니다. 또한, 컨트롤러에는 일련의 프로그래밍 가능한 설정 (programmable settings) 이 장착되어 있어 사용자는 로봇 암을 운영 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 빠르고 쉽게 작업을 수행할 수 있습니다. SP-600F 는 최고의 정확성과 더불어 최적의 운영 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 0.03 mm (0.03 mm) 의 인상적인 반복 가능성을 갖추고 있으며 웨이퍼 처리 중 충격을 줄이기 위해 듀얼 레이어 진동 댐퍼가 장착되어 있습니다. 또한, "로봇 '암 은" 웨이퍼' 파손 이나 오염 의 가능성 을 감소 시키도록 설계 되었다. 전반적으로 STAR SP-600F는 반도체 생산 환경에서 사용하도록 설계된 안정적이고 직관적인 웨이퍼 핸들러입니다. 5 축 제어 장치, 인상적인 정확도, 웨이퍼 처리 중 잠재적 인 손상을 인식하고 피하는 데 사용되는 전용 비전 머신 (vision machine) 을 갖춘 3 축 고니 오미터 (goniometer) 로봇 암이 특징입니다. 또한 혁신적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 프로그래밍 가능한 설정 (programmable settings) 을 통해 보다 맞춤적이고 효율적인 프로덕션 프로세스를 수행할 수 있습니다.