판매용 중고 STAR SP-450F #9176576

STAR SP-450F
제조사
STAR
모델
SP-450F
ID: 9176576
빈티지: 1997
Robotic arm 1997 vintage.
STAR SP-450F는 웨이퍼 수율의 예금 처리를 위해 특별히 설계된 고급 반도체 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 재료의 처리 및 증착에 매우 정밀하고 정확성을 제공하는 데 사용될 수 있습니다. SP-450F 는 균일 한 분포를 통해 최대 450 wafers/min 의 고속 wafer 프로세스를 수행할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 언로드 (Automatic Wafer Unloading) 메커니즘이 장착되어 있어 이 과정에서 많은 수작업을 줄일 수 있습니다. 이 장치는 원형, 사각형, 팔각형과 같은 다양한 웨이퍼 유형에 적응하도록 프로그래밍되었습니다. 또한 STAR SP-450F는 솔리드 (solid) 에서 파우더 (powder), 슬러리 (slurry) 및 에피 택시 (epitaxial) 에 이르기까지 다양한 재료로 작동 할 수 있습니다. SP-450F는 손쉽게 작동하고 모니터링할 수 있도록 터치 스크린 인터페이스와 PLC를 통합했습니다. 뿐 만 아니라, 기계 에는 여러 가지 "웨이퍼 '모양 과 크기 를 보유 할 수 있는 융통성 있는" 웨이퍼 홀더' 가 장착 되어 있다. 초정밀 브러시리스 (brushless) DC 모터를 사용하여 재료의 정확한 위치와 일관된 증착을 보장하는 자동 회전 메커니즘이 있습니다. 안전과 관련하여 STAR SP-450F 에는 오류가 감지되면 프로세스를 중지하는 수많은 안전 기능 (예: 자동 차단 기능) 이 있습니다. 또한 EN61010 은 위험 처리 시 안전 위험이 줄어듭니다. SP-450F 는 빠른 프로세스 변경도 지원합니다. 정렬 위치 (alignment position), 배치 각도 (angle for deposition) 및 소프트웨어 (software) 와 같은 필요한 설정은 모두 빠르고 정확하게 변경할 수 있습니다. 따라서 wafer 프로세스는 수동으로 다른 프로세스를 구성할 필요가 없기 때문에 훨씬 더 효율적입니다. 마지막으로 STAR SP-450F 는 최고 수준의 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 고급 동기식 피드백 제어 시스템 (synchronous feedback control system) 은 최고 수준의 재료 증착 및 먼지 없는 작업 환경을 보장합니다. 또한, 시스템 부품의 성능 최적화 및 신뢰성 향상을 위해 정기적 인 유지 보수 검사가 포함됩니다.
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