판매용 중고 SHINKO 3D80-001147-V3 #9169708

SHINKO 3D80-001147-V3은 일본 회사 SHINKO가 산업 반도체 제조를 위해 개발 한 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 그것 은 얇고 작은 기판 뿐 아니라, 큰 "웨이퍼 '를 빠르고 정확 하게 처리 하도록 설계 되었다. V3 모델은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼 크기를 처리하도록 설계되었습니다. 3D80-001147-V3에는 "이중 손가락" 웨이퍼 그립이 가능한 독특한 디자인이 있습니다. 이 이중 손가락 메커니즘은 웨이퍼 (wafer) 의 스트레스를 줄여 정확한 처리를 보장하고 손상을 방지합니다. 슬림형 차체는 회전 중심이 낮아 안정성을 높이고 회전 속도가 최대 600 RPM (Rotation Speed) 까지 향상시킵니다. 이를 통해 SHINKO 3D80-001147-V3은 고속 자동화에 적합합니다. 3D80-001147-V3은 수평 및 수직으로 웨이퍼를 로드, 언로드 및 전송하는 데 사용됩니다. 2 개의 선형 액추에이터가 장착되어 있으며, 하나는 x축이고 다른 하나는 y축입니다. 이렇게 하면 모든 작업 조각과 관련하여 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있습니다. 액추에이터는 정확한 위치 피드백을 제공하는 데 도움이 되는 광학 인코더의 조합을 사용합니다. SHINKO 3D80-001147-V3은 강화 된 스테인레스 스틸로 만들어졌으며, 매우 부드러운 표면을 위해 전기됩니다. 따라서 Cleanroom 환경에서 사용할 수 있습니다. 이 장치는 직렬 RS-232 포트 (Serial RS-232 Port) 로 공장 자동화 시스템에 연결되어 웨이퍼 크기, 재료, 두께, 세그먼트 수를 쉽게 구성할 수 있습니다. 요약하면, 3D80-001147-V3은 정확한 제어로 웨이퍼를 선택, 배치 및 전송 할 수있는 고성능 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 슬림한 디자인, 더블 핑거 웨이퍼 그립 (double-fingered wafer grip), 고속 회전 (high-speed rotation) 은 뛰어난 안정성과 기동성을 제공하는 반면, 강화 된 스테인리스 바디 및 RS-232 연결은 광범위한 자동 산업 환경에서 사용하기에 적합합니다.