판매용 중고 SHIBUYA EH 520 #9253524

SHIBUYA EH 520은 반도체 및 평면 패널 장치 생산 라인에 사용되는 완전 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 다양한 직경, 두께, 다이 (die) 구성의 웨이퍼를 열 처리, 차단 및 청소를 통해 빠르고, 효율적이고, 정확하게 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 웨이퍼의 정확한 처리를 위해 인체 공학적으로 설계된 로봇 암 (robot arm) 과 정확한 위치 지정을위한 레이저 탐지 시스템 (laser detection system) 을 갖추고 있습니다. EH 520 은 독점 컴퓨터 비전 내비게이션 시스템 (computer vision navigation system) 을 사용하여 전체 기판 처리 영역 상에서 웨이퍼를 찾아 전송합니다. 이 장치는 고정밀 X-Y 선형 모터 스테이지를 사용하여 레이저 다이오드로 웨이퍼 표면을 안전하게 고정하고 정확하게 스캔합니다. 스캐닝 해상도는 웨이퍼를 X 및 Y 방향으로 정확하게 이동할 수 있도록 하는 데 중요합니다. 시부야 EH 520 (SHIBUYA EH 520) 은 또한 레이저 포지셔닝 후 기판 변형없이 웨이퍼를 단단히 고정시키는 클램핑 메커니즘을 갖추고 있습니다. EH 520에는 통합 프로그래밍 가능한 처리 부분이 있습니다. 이 부분은 많은 수의 웨이퍼 (wafer) 를 한 번에 병렬로 전송하는 데 사용되므로 처리량이 높아집니다. 이 장치는 또한 통합 "palletization" 알고리즘을 실행하여 웨이퍼를 한 프로세스 영역에서 다른 프로세스 영역으로 이동하는 데 걸리는 시간을 줄입니다. SHIBUYA EH 520 (SHIBUYA EH 520) 은 프로파일 설계가 낮으며 다양한 어플리케이션 영역에 대한 다양한 유연성을 제공합니다. 이 장치에는 유지 보수 및 확장성이 용이한 모듈식 설계가 있습니다. 수송, 정렬 및 청소 웨이퍼에 대한 다양한 옵션을 제공하며, 산화, 도금, 에칭 등 다양한 열/기계 처리 단계를 처리 할 수 있습니다. EH 520은 시간당 최대 600 웨이퍼의 탁월한 정밀도와 인상적인 프로세스 속도를 제공합니다. 매우 낮은 소음 수준 (noise level) 으로 작동하며, 엄격한 품질 및 성능 테스트를 거쳐 가장 높은 신뢰성 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치는 운영 (Production) 제품군의 다른 디바이스와 손쉽게 통합할 수 있게 해 주며, 여러 해 동안 유지보수 비용을 최소화하고, 운영 (Production) 라인의 효율성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다.