판매용 중고 SHIBUYA EH 182 #9283295

SHIBUYA EH 182는 SHIBUYA Corporation에서 제조했으며 반도체 및 웨이퍼 제조 산업에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 가볍고 튼튼한 알루미늄 합금으로 지어진 4 개의 접합, 4 축 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 최대 4 개의 다른 웨이퍼를 동시에 전송, 조정할 수 있도록 설계되어 있어, 생산과 처리량을 효율에 가장 적합한 솔루션입니다. A/B/C/D로 표시된 4 개의 개별 웨이퍼 사이트에는 각각 고유 한 센서 및 관련 디지털 출력이 있습니다. 각각 정밀한 고해상도 광학 인코더 (optical encoder) 와 레이저 마이크로미터 (laser micrometer) 가 부착되어 정확한 웨이퍼 위치와 위치를 지정할 수 있습니다. 센서는 크기가 2mm ~ 8mm 인 물체를 감지 할 수 있으며, 선형 정확도는 1 ½ m 미만입니다. 이 기계에는 고출력, 다중 축 4-DOF 로봇 암이 장착되어 있어 빠르고 효과적인 동작 제어가 가능합니다. X 방향과 Y 방향 모두에서 총 이동 범위는 50 °, Z축에서는 ± 95 ° 를 제공합니다. 펄스 모터 (Pulse Motor) 와 여러 통합 리미트 스위치 (Integrated Limit Switch) 를 통해 속도 및 정밀도를 최적화할 수 있으며, 다양한 특수 웨이퍼 처리 액세서리를 로봇암에 장착하여 성능을 극대화할 수 있습니다. EH 182는 다양한 웨이퍼 크기와 기판을 수용하도록 설계된 견고한 고성능 머신입니다. 최신 센싱 (sensing) 및 모션 제어 (motion control) 기술을 통합하여 경쟁력 높은 비용으로 정확한 배치 및 처리를 보장합니다. 최대 로딩 용량은 8 kg 이며 분당 최대 30 사이클의 속도에 도달 할 수 있습니다. 진정한 신뢰성과 비용 효율적인 솔루션인 SHIBUYA EH 182는 반도체 개발자와 웨이퍼 생산에 완벽한 선택입니다.