판매용 중고 SHIBUYA EH 182 #9268371

SHIBUYA EH 182는 반도체 산업을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러 머신입니다. 매우 정밀하고 빠른 와퍼를 처리할 수 있는 안정적이고 효율적인 방법을 제공합니다 (영문). 이 장비는 고급 로봇 암 (robotic arm) 을 사용하며 웨이퍼 모니터링 시스템과 실시간 프로그래밍 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 초당 최대 28 웨이퍼의 효율적인 웨이퍼 전송 속도로 작동합니다. EH 182는 150mm 및 200mm 웨이퍼를 모두 처리합니다. 이 기계는 웨이퍼 전송, 정렬, 테스트, 계량, 장력 제어, 결함 웨이퍼 거부 기능과 같은 다양한 기능을 제공합니다. 또한 건조 및 습식 벤치 환경 모두에서 작동 할 수 있습니다. 이 도구는 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며, 직관적인 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. "와퍼 '를 특정 한 위치 로 이동 시키도록" 로봇' 암 을 "프로그램 '할 수 있으며, 따라서 시험 이나 공정 작업 을 할 수 있다. "와퍼 '의 가장자리 에 있는 어떤" 치이핑' 도 감지 할 수 있는 "에셋 '을 갖추고 있으므로, 최적 의 성능 과 정확성 을 위하여 조정 할 수 있다. "로봇 '암 은 또한" 웨이퍼' 표면 의 "핀홀 '이나 다른 결함 들 을 탐지 하는 데 사용 될 수 있다. SHIBUYA EH 182는 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리를위한 첨단 기계입니다. 고급 기능과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 빠르고 쉽게 사용할 수 있습니다. 그 고도 의 정밀 한 정렬 과 수송 능력 은 어떤 형태 의 "웨이퍼 '도 정확 하고 효율적 인 방법 으로 처리 할 수 있게 해 준다. 이 모델은 CVD 및 RDL 응용 프로그램 모두에 적합하며 구리, 텅스텐, 알루미늄 및 GaAs와 같은 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 다이 애착 (die-attaching), 흐름 필름 형성, 다이 백 그라인드 (die backgrind) 와 같은 여러 프로세스 단계에 사용될 수 있습니다.