판매용 중고 SHIBUYA EH 182 #9256965
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SHIBUYA EH 182는 현대 반도체 생산 분야에서 사용할 수있는 가장 고급 웨이퍼 핸들러 기계 중 하나입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 반도체 부품 전문 일본 엔지니어링 및 제조 회사 인 SHIBUYA Kogyo에 의해 개발되었습니다. EH 182는 카세트에서 웨이퍼 각질 제거 시스템 (wafer exfoliation system) 으로 웨이퍼 로드 및 언로드 등의 기능을 자동으로 관리하도록 설계되었습니다. 또한 웨이퍼 제작을 위해 개별 웨이퍼를 히터 (heater) 와 퍼니스로 로드 및 언로드하는 것을 제어하기 위해 사용됩니다. SHIBUYA EH 182 웨이퍼 핸들러는 자동 메커니즘을 사용하여 정밀도 및 제어로 웨이퍼를 이동합니다. 로터리 (rotary) 로봇 조작기 (rotary robot manipulator arm) 가 장착되어 있어 와퍼의 부드럽고 낮은 충격 픽업과 회전이 가능합니다. 로봇 암 (robot arm) 에는 웨이퍼 로드 및 언로드 작업을 실시간으로 모니터링 할 수있는 비전 (vision) 시스템도 장착되어 있습니다. 이 기계에는 또한 웨이퍼와 환경 사이의 정적 빌드 업을 줄이기 위해 ASDS (Anti-Static Device System) 가 장착되어 있습니다. 이것은 잠재적 인 단절 (shorting out) 을 방지하기 위해 프로세스 간 웨이퍼 (wafer) 를 전송하는 동안 특히 중요하며, 이는 생산 과정에서 사용되는 재료에 영향을 줄 수 있습니다. EH 182 웨이퍼 핸들러에는 웨이퍼 교환 환경을 제어하기위한 다양한 기능도 있습니다. "카세트 '사이 에" 웨이퍼' 를 신속 하고 신뢰 할 수 있게 해 주는 "브러쉬 '없는" 모터' 가 있다. "와퍼 '파손 또는 변형을 방지하기 위해" 로봇' 팔의 온도를 쉽게 조정할 수 있고, 진동 자유 운동 (vibration free motion) 은 "마이크로 매트릭스 '파동 위험을 최소화할 수 있다. 또한, SHIBUYA EH 182에는 다양한 안전 기능 (예: 운전자가 로터리 로봇 암과 접촉하지 못하도록 기계식 방패) 이 제공됩니다. 바람직하지 않은 위치 및/또는 환경 상태를 감지하는 안전 스위치 (Safety Switch) 와 센서 (Sensor) 가 있습니다. 감지된 위험의 경우, 잠재적 인 제품 손상을 막기 위해 웨이퍼 핸들러가 즉시 종료됩니다. 결론적으로, EH 182 웨이퍼 핸들러는 섬세한 반도체 웨이퍼 관리를위한 최첨단 기계입니다. 첨단 기술로 정확하고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 처리를 보장하며, 운영자에게 효율적이고 안전한 생산 환경을 제공합니다.
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