판매용 중고 SHIBUYA EH 182 #9253526
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SHIBUYA EH 182는 반도체 처리를 위해 완전히 자동화 된 웨이퍼 핸들러입니다. 인체 공학적 (ergonomic) 캐러셀 스타일의 조작을 통해 효율성을 극대화하는 다목적, 듀얼 스테이지 디자인의 정밀 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 고급 도구입니다. EH 182에는 2 개의 표준 단계 (크고 작은 단계 1 개, 가변 속도 옵션 1 개) 가 장착되어 있습니다. 캐러셀 (Carrousel) 유형 설계를 통해 웨이퍼 인터페이스 보드 (Wafer Interface Board) 에 빠르게 액세스하여 유지 보수 및 처리 단계로 웨이퍼를 조작할 수 있습니다. SHIBUYA EH 182는 스테이지 전송 동안 최대 1 미크론 정확도로 200mm 웨이퍼를 지원하도록 설계되었으며, 이는 프로세스 동안 귀중한 장치를 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이중 단계 설계를 통해 대규모/소규모 단계에서 동시 웨이퍼 (wafer) 처리를 수행할 수 있으므로 다운타임을 줄이고 처리량 및 생산성을 높일 수 있습니다. 또한 자동 방식으로 시간당 최대 12 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최적의 프로세스 처리량을 제공합니다. EH 182는 웨이퍼 스태킹, 웨이퍼 측정, 사전 검사, 용접, 테스트 및 기타 많은 관련 프로세스를 포함한 다양한 응용 프로그램과 호환됩니다. 온보드 PC (Windows OS 및 사용자 친화적 소프트웨어 포함) 를 통해 시스템을 간단하게 설정하고 유지 관리할 수 있습니다. SHIBUYA EH 182에는 고속 선형 모터와 액츄에이터가 장착되어 있어 뛰어난 성능과 빠른 주기 시간을 제공합니다. 또한 자동 웨이퍼 처킹 시스템 (auto wafer chucking system) 이 제공되어 단계 간 웨이퍼의 빠른 전송이 가능합니다. 또한 EH 182에는 비전 기반 웨이퍼 방향 시스템이 있으며, 이를 통해 안정적이고 오류 없는 작동이 가능합니다. SHIBUYA EH 182는 까다롭고 중요한 어플리케이션에 탁월한 성능과 안정성을 제공하는 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 디자인, 견고한 구성 요소, 사용자 친화적 기능을 통해 반도체 제조에 이상적인 선택으로, 컴팩트하고 내구성이 뛰어난 패키지로 탁월한 정확성과 뛰어난 처리량을 제공합니다 (영문).
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