판매용 중고 SHIBUYA EH 182 #293585948

SHIBUYA EH 182는 반도체 웨이퍼의 자동 로드 및 언로드를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 주로 반도체 제조 공정에서 에처 (etcher), 확산 용광로 (diffusion furnace) 및 사진 리소그래피 챔버 (photo lithography chamber) 와 같은 프로세스 영역으로 웨이퍼 카세트 또는 전면 개방형 카세트 (FOC) 를 전송하는 데 사용됩니다. EH 182는 8 인치, 200mm 및 300mm 웨이퍼의 FOC 기능을 가지고 있으며 한 번에 최대 8 개의 카세트를 처리 할 수 있습니다. SHIBUYA EH 182는 로봇 암, 리프팅 모터 세트, 베어링 기어 세트 등 여러 주요 구성 요소로 구성됩니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 카세트를 버퍼에서 로봇으로 옮기도록 설계되었으며 왼쪽 모터는 로봇 암 (robotic arm) 을 들어 올리기 위해 설계되었습니다. 베어링 기어는 카세트를 다루는 동안 부드러운 로봇 이동에 사용됩니다. EH 182는 clamshell, front-open 및 round shuttle의 세 가지 다른 전송 유형으로 구성됩니다. 조개 껍질 이동은 SHIBUYA EH 182가 내부 처리 실에 웨이퍼와 기판을 정확하게 배치 할 수있는 반면, 전면 개방 (front-open) 전송은 챔버 사이에 카세트를 앞뒤로 가져갑니다. 라운드 셔틀 전송 (round shuttle transfer) 은 공구 간 카세트를 운송하는 데 사용되며, 여러 개의 라우팅 경로와 두 개 이상의 카세트를 동시에 이동할 수 있습니다. EH 182는 전송 기능 외에도, 웨이퍼 픽업 (wafer pick-up) 및 배치 단계 (placement steps) 동안 결함을 검사하는 고급 비전 기능도 제공합니다. 이 기능은 모든 잠재적 손상에 대한 추가 보호를 허용합니다. SHIBUYA EH 182에는 간편한 설치, 수동 명령 (manual command) 과 같은 자동화 프로세스를 용이하게하기 위해 사용자 친화적 인 기능이 있습니다. 내장 인텔리전스를 통해 EH 182는 최소한의 사용자 인터페이스로 작업에 적절한 방식으로 반응 할 수 있습니다. SHIBUYA EH 182는 안정적이고 고성능 웨이퍼 핸들러로, 부드럽고 정확하며 반복 가능한 로봇 동작을 제공합니다. 고급 기능과 사용자 정의 기능을 통해 자동 (automated) 환경과 수동 (manual) 환경 모두에 이상적입니다. 비용 효율적인 디자인과 결합된 EH 182는 반도체 처리 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.