판매용 중고 SEIKO SEIKI D-Tran #9214878
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SEIKO SEIKI D-Tran은 웨이퍼 기판 운송 및 전송 프로세스를 단순화하고 최적화하도록 설계된 기술적으로 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 도구는 오염 감소, 효율성 향상, 기판 생산 처리량 향상을 위해 반도체 제조 시설에 사용됩니다. 비접촉 전송 기술 및 리니어 모터 드라이브 (Linear Motor Drive) 를 사용하여 0.3 미크론의 반복 정확도를 제공하여 웨이퍼와 박막을 정확하고 효율적으로 이동할 수 있습니다. D-Tran은 die attachment, wafer bonding 및 기타 자동 프로세스와 같은 작업에 이상적입니다. 이 제품은 시간과 공간을 줄이는 단일암 (single-arm) 전송 메커니즘을 활용하고, 오염을 없애고, 깨끗한 운영 환경을 제공합니다. 기술 기능에는 모듈식 베이스 플레이트 (Modular Base Plate) 와 유연한 공구 어셈블리 (Flexible Tool Assembly) 가 포함되어 다양한 구조와 크기의 기판을 원활하게 처리할 수 있습니다. SEIKO SEIKI D-Tran은 6축 (Six-Axis) 로봇 장비로 설계되었으며, 생산 시설의 정확한 요구를 충족하는 특수 모듈로 기판을 어떤 방향으로든 전송할 수 있습니다. 정확하고 고속 진공 시스템 (High-Speed Vacuum System) 은 오염을 최소화하고 Wafer 및 Thin Film이 잘못 정렬 될 가능성없이 안전하게 전송되도록 보장합니다. 또한 D-Tran 은 고품질 (High Quality) 외에도 완벽한 시스템 통합 및 호환성을 제공하는 신뢰성이 뛰어난 툴입니다. 이 장치에는 PID 기반 제어기 (Control Machine) 가 장착되어 있으며, 온도, 압력 및 속도의 변동이 최소화되어 전체 도구의 정확하고 안정적인 작동이 가능합니다. 마지막으로 SEIKO SEIKI D-Tran은 비용 효율적인 고속 생산 운영을 위해 설계되었습니다. 쉽게 설치, 유지 보수, 운영할 수 있도록 설계되었으며, 자본 투자 또는 주요 수정 없이 기존 운영 라인에 통합될 수 있습니다. 운영 안전 및 신뢰성을 보장하기 위해 D-Tran은 SEMI 표준 지침을 준수하도록 설계되었습니다.
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