판매용 중고 SCHILLER FoupStocker 1 #9364074
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SCHILLER FoupStocker 1은 산업 반도체 생산 시설에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. SCHILLER Automation에서 제조 한이 자동 웨이퍼 처리 장비는 업계 표준/형식 FOUP (Front Opening Unified Pod) 컨테이너에서 개별 웨이퍼를 효율적으로 이동, 저장 및 찾을 수 있도록 설계되었습니다. FoupStocker 1 (FoupStocker 1) 은 소형의 모듈식 및 확장 가능한 웨이퍼 처리 시스템을 갖추고 있으며, 다양한 생산 시설에 통합 할 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 수많은 사용자 구성 가능 매개변수를 사용하여 웨이퍼 이동 (wafer movement) 프로세스를 정교하게 제어할 수 있습니다. 단위를 사용하여 최대/최소 위치 정밀도, 컨테이너 유형, 웨이퍼 크기, 회전 등을 정의하여 개별 웨이퍼의 최적의 처리를 보장할 수 있습니다. 푸프 스토커 (FoupStocker) 가 제공하는 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 주변 제어 시스템과의 원활한 통신을 통해 운영자 및 엔지니어가 자동화 머신의 실시간 피드백 (feedback) 을 통해 운영 진행 상황을 면밀히 주시할 수 있습니다. 또한, 사용자는 원격으로 툴에 액세스할 수 있으므로, 광범위한 시스템 중단 없이 신속하게 재구성할 수 있습니다. SCHILLER FoupStocker 1은 각각 최대 25 개의 개별 웨이퍼를 수용 할 수있는 FOUP 컨테이너를 사용합니다. 웨이퍼 핸들러는 컨베이어 벨트, 웨어하우스, 피커, 엘리베이터 시스템 형태의 여러 운송 메커니즘을 통해 FOUP 컨테이너를 신속하게 액세스하고 각 위치로 이동합니다. FoupStocker 1 은 다운타임 최소화, 운영 처리량 증대, 개별 웨이퍼 제조 및 저장을 위한 신뢰성 있는 솔루션을 제공합니다. SCHILLER FoupStocker 1에서도 안전이 고려됩니다. 이중화된 안전 시스템을 갖춘 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 비정상적인 동작을 신속하게 감지하고 작업을 종료할 수 있습니다. 수송 작업 중 정류장 내장 (내장) 은 웨이퍼를 손상으로부터 보호하며, 특허 출원 중인 인케이스 (Patent Pending Encasement) 기술은 웨이퍼 주위에 밀봉된 인클로저 (Enclosure) 를 생성합니다. FoupStocker 1은 산업용 반도체 생산 환경을 위해 특별히 설계된 안정적이고 효율적인 자동 웨이퍼 처리 자산입니다. 모듈식 설계 및 확장 가능한 설계, 견고한 안전 절차, 직관적인 사용자 인터페이스 등을 갖춘 SCHILLER FoupStocker 1은 신속한 재구성, 웨이퍼 컨테이너 (wafer container) 의 정확한 처리, 결국 생산 생산량 증가, 다운타임 단축 등의 효과를 제공합니다.
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