판매용 중고 SANWA SF200STD #9401540
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ID: 9401540
웨이퍼 크기: 8"
SMIF Loader, 8"
Aluminum with anodizing main frame
Wafer pickup window: 30 ~ 52.1
Z-Axis wafer positioning: ±0.1 mm
Stage position: 164.5 mm
Stage effective stroke, 10"
Speed: 66 mm/s
Mounting type: Four setting hole in base plate
Cassette adapter, 8"
Multi-communication interface
RS232 Build-in ethernet
Parallel I/O, SECS I / II
SEMI Standard S2
Built-in wafer mapping
Wafer protrusion detecting
Power supply: 24 VDC (+10%, -5%)
Standby: 2.2 A
Operation: 4.6 A - 5.5 A (Maximum).
SANWA SF200STD Wafer Handler는 웨이퍼 운송, 정렬 및 운송을 위해 설계된 자동 장비입니다. 2 인치에서 8 인치 웨이퍼에 이르는 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 처리기는 수동, 반자동, 완전 자동화 등 다양한 플랫폼과 함께 사용할 수 있습니다. SF200STD 웨이퍼 핸들러는 고객 요구를 충족하기 위해 모션 컨트롤, CNC, 이더넷, Profesbus 등의 소프트웨어를 지원하도록 설계된 개방형 아키텍처를 갖추고 있습니다. 핸들러는 저속 10: 1의 고속 8 번 스퍼 기어 모터를 사용합니다. 또한 릴리즈 유형 클러치 메커니즘을 사용하여 전송 또는 정렬할 때 빠른 정지 (quick stop) 및 부드러운 회전 (smooth rotation) 을 수행합니다. SANWA SF200STD 웨이퍼 핸들러는 ± 0.03mm 정확도 내에서 웨이퍼를 전송할 수 있으며 웨이퍼 위치에서 +/-2mm 정확도를 유지할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 정렬 기능이 있으며, 사용 가능한 옵토일렉트로닉 센서에 따라 모든 유형의 웨이퍼를 정렬 할 수 있습니다. 각 "카세트 '와" 카세트' 컨베이어 의 충돌 을 방지 하고 "웨이퍼 '를 탐지 하는 인식 장치 가 갖추어져 있다. 이렇게 하면 부적절한 처리로 인해 웨이퍼가 손상되지 않도록 보호할 수 있습니다. 또한, 처리기는 필요할 때 쉽게 유지 관리 및 수리 할 수 있도록 모듈 식 (modular) 방식으로 설계되었습니다. 전반적으로, SF200STD는 효율적이고 안정적인 웨이퍼 핸들러로, 사용자에게 필요한 사용 편의성과 유연성을 제공합니다. 개방형 아키텍처 덕분에, 사용자는 해당 장치를 사용자 정의하여 특정한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 컴팩트한 구조와 정교한 자동화된 머신 (automated machine) 을 통해 웨이퍼 (wafer) 전송 및 작동이 정확하고 정확하게 수행되므로 웨이퍼의 무결성과 품질을 보호할 수 있습니다.
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