판매용 중고 SANKYO SR8240-0002CCR #9296842

SANKYO SR8240-0002CCR은 고정밀 프로세스 및 처리 요구를 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러 머신입니다. 2 축 X-Y-Z 모션 장비, 로드 운송 시스템 및 최대 200mm 웨이퍼 처리를위한 진공 척이 장착되어 있습니다. 2 축 X-Y-Z 동작 단위는 2 개의 선형 축 X 및 Y로 구성되며 해상도는 ± 0.01mm로 연속 이동할 수 있습니다. 모션 머신에는 K 축도 포함되어 있습니다. K 축은 더 나은 위치 및 웨이퍼로 180 ° 회전할 수 있습니다. 진공 척 (vacuum chuck) 은 임베디드 브러시리스 (brushless) DC 모터를 특징으로하며, 척 (chuck) 은 파워 피드백으로 최대 200mm의 대형 용량으로 웨이퍼를 고정하고 방출 할 수 있습니다. SR8240-0002CCR 은 또한 선형 X-Y 모션 스테이지에 장착 된 기계식 셔틀 암 (shuttle arm) 과 위치 간 이동시 웨이퍼를 전송 및 지원하는 여러 구성 요소로 구성된 로드 전송 툴 (load transport tool) 을 갖추고 있습니다. 셔틀 에셋은 웨이퍼 (wafer) 의 감염 및 피드 (infeed and outfeed) 에 사용될 수 있으며, 웨이퍼의 정밀 처리 및 배치를 보장합니다. 이 기계는 다양한 프로세스, 처리 요구에 대한 안전성과 안정성을 보장하도록 설계되었습니다. 안전 을 보장 하기 위하여, 기계 는 "와퍼 '처리 장비 가 올바른 작동 위치 에 있지 않을 때 촉발 되는 안전" 인터록' "모델 '을 갖추고 있다. 또한, 머신에는 AAS (Anti-Affinity System) 가 장착되어 있으며, 머신 설정, 작동 및 유지 보수 중에 예기치 않은 운영 구성 요소 이동을 모니터링하고 방지합니다. 전반적으로 SANKYO SR8240-0002CCR은 다양하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로, 정확한 프로세스 및 처리 기능을 제공합니다. 2 축 X-Y-Z 모션 유닛 및 로드 전송 머신 (load transport unit) 은 속도와 정확성으로 큰 웨이퍼를 처리 할 수있는 반면, 안전 및 모니터링 시스템은 안전하고 안정적인 작동을 보장합니다.