판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST WHS #9315424

RUDOLPH/AUGUST WHS (Wafer and Mask Inspection Equipment) 는 반도체 웨이퍼와 포토 마스크 모두를 빠르고 정확하게 검사하고 평가하도록 설계된 자동 광학 검사 시스템입니다. 이 장치는 최첨단 자동 이미지 분석 기술을 사용하여 깨진 선, 입자 오염, 스크래치, 줄무늬, 버어 (burr) 및 기타 형태의 불균일 성과 같은 결함에 대해 웨이퍼와 마스크를 신속하게 검사합니다. 이 기계는 결함 진단을 용이하게 하기 위해 감지된 결함 (detected fect) 과 영향을 받는 영역의 이미지 (image) 에 대한 신속하고 자세한 설명을 제공합니다. 이 도구는 2 개의 고해상도 고속 카메라가 장착된 완전 자동 광학 검사 테이블로 구성되어 있습니다. 두 카메라 모두 "웨이퍼 '와" 마스크' 표면 에서 "이미지 '를 캡처 하여 검사 중 의" 아이템' 의 표면 지형 을 상세 히 시각적 으로 평가 할 수 있다. 이 자산은 카메라의 렌즈 (lens) 와 시야 (field-of-view) 를 조정할 수 있기 때문에 다양한 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 유형을 빠르고 정확하게 스캔할 수 있습니다. 그런 다음, 카메라 이미지는 제어 장치 (Control Unit) 에 의해 분석됩니다. 즉, 정보를 매우 빠른 속도로 처리할 수있는 듀얼 코어 프로세서입니다. 이 프로세서는 또한 이미지 메모리에 데이터를 전송할 수 있으며, 그 반대의 경우, 효율적이고 안정적인 그림 저장 (picture storage) 기능을 제공합니다. "어거스트 WHS '는 또한" 웨이퍼' 단계 를 갖추고 있는데, 이것 은 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 양쪽 에서 찍을 때 "이미지 '의 정밀 한 등록 을 유지 하면서 검사" 테이블' 의 한쪽 면 에서 다른 쪽 으로 재빨리 "웨이퍼 '나" 마스크' 를 옮길 수 있다. 또한 이 모델에는 고해상도 이미지 뷰어, 보고서 생성기 (Report Generator) 등 다양한 사용자 도구가 포함되어 있어 카메라에서 가져온 이미지를 손쉽게 보고 검사 결과에 대한 자세한 보고서를 생성할 수 있습니다 (영문). 전반적으로, RUDOLPH WHS는 결함, 입자, 긁힘 및 기타 비 균일 성을 위해 웨이퍼와 마스크를 빠르고 정확하게 스캔 할 수있는 고급, 포괄적 인 광학 검사 장비입니다. 이 시스템에는 고속 카메라 2 대, 웨이퍼 스테이지 (wafer stage), 듀얼 코어 프로세서, 강력한 보고서 생성 엔진이 장착되어 있어 제품 결함 및 품질 보증을 위한 편리하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다.