판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST WHS #9234775

RUDOLPH/AUGUST WHS는 청소 환경 내에서 웨이퍼를 운송 및 조작하는 데 사용되는 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치 는 특히 반도체 장치 제조 에 유용 한데, 이 장치 는 "웨이퍼 '를 안전 하고, 안정적 이고, 효율적 인 방법 으로" 클리닝' 실 내 에 수송 할 수 있게 해 준다. AUGUST WHS는 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 제공하는 고도로 자동화 된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 통합 컨베이어 장비로 제작되었으며 이중 트랙 디자인이 특징입니다. 이렇게 하면 장치가 여러 개의 웨이퍼 (wafer) 를 한 번에 처리하고 웨이퍼가 완벽하게 정렬되도록 할 수 있습니다. 또한 클로즈드 루프 제어 시스템 (closed-loop control system) 을 통해 웨이퍼가 전체 웨이퍼 전송 프로세스 전체에서 항상 정확하게 중앙에 배치되고 정렬됩니다. 루돌프 WHS (RUDOLPH WHS) 는 또한 운송 중 파퍼에서 입자 및 기타 오염 물질을 멀리하도록 설계되었습니다. 공기에서 먼지, 입자 및 기타 오염 물질을 효과적으로 제거하는 진공 단위뿐만 아니라 여러 계층의 고효율 미립자 공기 (HEPA) 필터를 사용합니다. 이렇게 하면, 장치 가 작업 구역 에서 깨끗 한 환경 을 유지 하게 되어, 오염 물질 이 "웨이퍼 '와 접촉 하지 않게 된다. 또한 이 기능을 통해 WHS는 많은 Cleanroom 인증의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. RUDOLPH/AUGUST WHS는 또한 웨이퍼 처리 프로세스를 최적화하도록 설계된 고급 소프트 로봇을 갖추고 있습니다. 이러 한 "로봇 '들 은 복잡 한" 알고리즘' 과 특수 "센서 '를 사용 하여 잠재적 인 손상 을 일으키지 않고 정확 하게" 웨이퍼' 를 안정화 하고 이동 시킨다. 이 기계는 또한 다음 프로세스 (next process) 에 대한 최적의 구성으로 웨이퍼를 정렬하는 정교한 웨이퍼 방향 도구 (wafer orientation tool) 를 포함합니다. 또한 8 월 WHS 는 가동 시간을 극대화하고 유지 보수 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 잠재적인 문제를 파악하기 위한 다수의 통합 진단 센서 (Diagnostic Sensor) 와 간편한 유지 관리 및 수리 기능을 제공하는 사용자 친화적인 원격 모니터링 자산 (Remote Monitoring Asset) 을 갖추고 있습니다. RUDOLPH WHS는 모든 반도체 장치 제조 시설에 귀중한 자산입니다. 신뢰성이 높고, 정확하며, 자동화되었으며, 최고 수준의 Cleanroom 인증 규정 준수를 제공합니다. 고급 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기능을 통해 WHS는 제조 효율성을 향상시키고, 비용을 절감하며, 최적의 생산 수준을 유지할 수 있습니다.