판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST WHS #293635033

RUDOLPH/AUGUST WHS는 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 주 제어 장치, 입/출력 제어 장치, 로봇 암, 다양한 컨베이어, 셔틀 및 플라스틱 부품으로 구성된 통합 장비입니다. 이 웨이퍼 핸들러 시스템 (wafer handler system) 은 다양한 크기의 웨이퍼를 픽업, 전송 및 배치하고 여러 단계의 제조 공정을 통해 처리하도록 설계되었습니다. 아우구스트 WHS (August WHS) 의 주 제어 장치는 전체 유닛을 제어하고 성능과 정확도를 모니터링합니다. 앞면 패널에 디지털 디스플레이 (digital display) 가 있어 사용자가 시스템 관리를 도와줍니다. 사용자는 매개변수를 설정하고, 프로세스를 초기화하고, 모니터링하고, 속도를 조정하고, 운영 데이터를 모니터링할 수 있습니다. IOCU (Input/Output Control Unit) 는 로봇 암을 각 웨이퍼 전송에 필요한 정확한 위치로 지시하는 데 사용됩니다. 인코더, 센서 및 기타 데이터 입력을 사용하여 웨이퍼 전송을 위한 정확한 움직임을 보장합니다. RUDOLPH WHS의 로봇 암 (robotic arm) 은이 도구의 중요한 구성 요소이며 생산 자산 전반에 걸쳐 빠르고 정확하고 안전한 웨이퍼 운송을 담당합니다. 정밀 서보 모터와 구동 전자 장치 (Drive Electronics) 의 조합으로 설계되어 팔의 정확한 움직임을 가능하게 합니다. 이렇게 하면 "와퍼 '를" 컨베이어 벨트' 와 원하는 공정 "스테이션 '에 정밀 히 배치 할 수 있다. 또한, WHS에는 모델 내 위치 간 웨이퍼를 효율적으로 이동하도록 설계된 다양한 컨베이어 (Conveyor) 와 셔틀 (Shuttle) 이 장착되어 있습니다. "플라스틱 '은 고품질" 플라스틱' 부품 으로 만들어져 있어서 반도체 제조 환경 의 까다로운 환경 상태 를 견딜 수 있게 해 준다. "컨베이어 '들 은 또한 인력 의 안전 을 보장 하기 위하여 안전 기능 을 갖추고 있다. 마지막으로, RUDOLPH/AUGUST WHS에는 고급 프로그래밍 (advanced programming) 이 장착되어 있으며, 사용자는 각기 다른 제조 공정의 요구 사항과 필요에 따라 명령과 설정을 수정할 수 있습니다. 이 수정은 빠르고 쉽게 수행 할 수 있으며, 와퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 다양한 생산 프로세스에 의해 활용 될 수 있습니다. 이로 인해 많은 반도체 생산 시스템을위한 장치 후 AUGUST WHS를 많이 찾고 있습니다.