판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST WHS 300MM #9401134

RUDOLPH/AUGUST WHS 300MM Wafer Handler (WHS) 는 초대형 통합 (ULSI) 회로 제조를 위해 설계된 로봇 픽 앤 플레이스 핸들러입니다. 이 광범위한 핸들러 (handler) 는 하나의 처리 스테이션에서 다음 프로세스로 300mm 웨이퍼를 전송할 수 있으므로 고품질 제품의 효율적이고 정밀한 생산이 가능합니다. WHS에는 3 축 구성으로 작동 할 수있는 듀얼 로봇 암 (Dual Robot Arm) 이 있어 정확한 동작 제어가 가능합니다. 로봇 암 (Robotic Arm) 에는 2 개의 독립 모터가 있으며, 하나의 스테이션 내에서 처리를 향하도록 회전하는 옵션을 포함하여 웨이퍼의 2 단계 처리가 가능합니다. WHS에는 최신 진공 및 압력 센서 (pressure sensor) 가 장착되어 배치와 움직임이 절대적으로 정확합니다. 다양한 고급 소프트웨어 (advanced software) 옵션을 통해 모든 종류의 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 처리 할 수 있습니다. WHS는 200 미크론, 1.2 밀리미터 크기의 웨이퍼 두께를 인식하고 처리 할 수 있습니다. 이렇게 하면 반복 가능한 배치 정확도 (reputeable placement accuracy) 가 가능해지며, 주어진 지점에 잘못된 배치로 인한 비용과 낭비가 줄어듭니다. WHS 는 직관적인 인터페이스 (interface) 를 갖추고 있어, 시스템 연결을 끊지 않고 프로그램 검색 및 수정 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 이 기능을 통해 운영 (Production) 을 실시간으로 제어할 수 있으며, 통계적 제어 사이트가 사용자의 간섭 없이 지침을 제공할 수 있습니다. 이 시스템은 LDIE 및 NIE와 같은 표준 ULSI 장비와 함께 작동하도록 설계되었습니다. WHS는 441 x 672 x 953mm, 무게는 750kg으로 대부분의 생산 시설과 호환됩니다. 최대 생산성 (productivity) 을 보장하기 위해 설계된 반면, 운영자의 인체 공학을 고려하십시오. WHS 는 신뢰성이 높고 효율적이며, 지속적으로 운영될 수 있으며, 가장 열악한 작업 환경에서도 문제로부터 벗어날 수 있습니다. WHS는 최대 50 개의 웨이퍼를 보유하도록 설계되었으며 시간당 최대 160 개의 웨이퍼 처리 속도를 자랑합니다. 광범위한 설계 (design) 기능은 항상 정확성과 최적의 성능을 보장합니다. 즉, 생산 수익률이 손상되지 않습니다. 또, WHS에는 안전 (Safety) 시스템이 내장되어 있어 운영자가 작업을 편안하게 모니터링하고 필요한 경우 쉽게 개입할 수 있습니다. 8 월 WHS 300MM 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 현대 생산 라인의 필수 장비로, ULSI 웨이퍼를 한 스테이션에서 다음 스테이션으로 효율적으로 운송하여 제조 공정의 각 단계를 완전히 정밀하게 안내합니다. 고품질 (High Quality) 과 정확한 표준을 필요로 하는 모든 프로덕션 하우스에는 귀중한 자산이 됩니다.