판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST SWS #9235595

AUGUST Technologies에서 제조 한 RUDOLPH/AUGUST SWS (Substrate Wafer Equipment) 는 수동 및 자동 프로세스를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 2 개의 자동 슬릿 오프닝 로봇, 이중 너비 웨이퍼 로더, 1 개의 전송 로봇 및 챔버가 장착 된 언로드 스테이션으로 구성됩니다. 8 월 SWS (Double-width wafer loader) 는 최대 2 인치 너비의 대형 웨이퍼를 수용하도록 설계되었습니다. 로더는 4 인치, 5 인치 또는 6 인치 웨이퍼를 모두 처리 할 수 있으며 안정적인 공급을위한 모듈 식 인덱싱 메커니즘이 제공됩니다. 시스템에서 사용되는 전송 로봇 (Transfer Robot) 은 2 개의 선형 적재 암으로 구성되며, 이를 통해 웨이퍼를 SPECTRO 또는 기타 처리 기계로 지속적으로 공급할 수 있습니다. 전사 "로봇 '은 이동 중 에" 웨이퍼' 손상 을 방지 하는 안전 장치 를 갖추고 있다. 두 개의 자동 슬릿 오프닝 로봇 (slit-opening robot) 은 웨이퍼에 균일 한 크기와 품질의 슬릿을 로드하는 데 유용합니다. 그들은 웨이퍼 무결성 (wafer integrity) 을 유지하면서 최대 0.05 인치까지 다양한 너비와 깊이의 슬릿을 포착하도록 설계되었습니다. 각 로봇에는 가변 출력 드라이브 (variable output drive) 와 웨이퍼 잠금 해제 (wafer unlock) 절차의 기간을 제한하는 안전 연동 장치 (safety interlock) 가 제공됩니다. 이 장치에는 챔버 (chamber) 도 제공되는데, 이 챔버 (chamber) 는 처리 기계 사이에 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 데 적합합니다. 이 챔버는 조정 가능한 매개변수를 특징으로하며 오염 방지에 효과적입니다. 결론적으로 RUDOLPH SWS는 수동 및 자동 프로세스 모두를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이중 너비 웨이퍼 로더, 자동 슬릿 오프닝 로봇 2 개, 전송 로봇, 처리 기계 간 웨이퍼 로드 및 언로드에 적합한 챔버 (chamber) 가 특징입니다. 이러한 컴포넌트는 결합되어 최고 품질의 슬릿 (slit) 을 균일하게 제공할 수 있는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 머신 (wafer handling machine) 을 생성합니다.