판매용 중고 RORZE RSR160 #9281343

RORZE RSR160은 로봇 기반의 듀얼 레인 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 그것 은 오염 과 입자 오염 을 최소한 으로 유지 하면서 "실리콘 '" 웨이퍼' 의 효율적 이고 믿을 만한 전달 을 하도록 설계 되었다. RSR160은 로봇 장비, 재료 처리 시스템, 전원 공급 장치 등 3 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 로봇 장치에는 2 개의 RZ-5X 로봇과 2 개의 듀얼 레인 주변 레일이 장착되어 있습니다. "로봇 '과 주변" 레일' 은 "스테이션 '간 에" 웨이퍼' 를 옮기기 위하여 함께 연결 된다. 재료 처리 기계는 2 개의 고속 마찰 롤러와 4 개의 컨베이어 벨트로 구성됩니다. "로울러 '와" 벨트' 컨베이어 는 "로봇 '도구 로부터 공정" 스테이션' 의 다른 구성 요소 로 "웨이퍼 '를 옮길 책임 이 있다. 전원 공급 장치는 외부 전원이 공급하는 내장형 저소음 DCbrushless 모터입니다. RORZE RSR160은 프로세스 스테이션의 웨이퍼 전송 신호에 빠르고 적절하게 인식하고 응답하도록 특별히 조정되었습니다. "로봇 '자산 을 이용 하여 크기 와 모양 이 다른" 웨이퍼' 를 정확 하게 운송 하고 정렬 할 수 있다. 또한, 이 모델에는 고정밀 비전 가이드 픽 앤 플레이스 (vision-guided pick and place) 작업을 위한 내장 비전 장비가 내장되어 있습니다. 이중 차선 컨베이어 시스템 (Dual Lane Conveyor System) 은 웨이퍼의 평평한 표면이 항상 상부 레일 (upper rail) 에 평행하도록 특별히 설계되었으며, 웨이퍼와 로봇의 픽업 암 (pick-up arm) 사이의 정밀한 평행 정렬을 허용합니다. 통합 전원 공급 장치 (Integrated Power Supply) 는 로봇의 원활한 작동을 보장하며, 유휴 시간 및 서보 범위를 벗어나는 조건의 위험을 최소화합니다. RSR160은 에칭, 청소, 연마, 테스트, 수리 등 다양한 웨이퍼 처리 장비와 호환됩니다. 이 장치는 기존 웨이퍼 (wafer) 처리 시스템과 빠르고 쉽게 통합되며, 신규/특정 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다. 기계는 또한 웨이퍼에 대한 먼지 손상을 최소화하도록 설계되었습니다. 공수 입자로부터 웨이퍼를 보호하기 위해 먼지 보호 물개 (dust-protection seal) 와 공수 입자를 수집하기위한 먼지 수집 상자 (dust-collection box) 가 있습니다. 결론적으로, RORZE RSR160 웨이퍼 핸들러는 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 강력하고 안정적인 솔루션입니다. 비용 효율적이고, 통합이 용이하며, 전송 중 입자, 먼지, 오염을 줄일 수 있습니다. 듀얼 레인 경량 디자인으로 이동이 가능하며, 고급 비전 도구로 정확한 포지셔닝이 용이합니다. 전반적으로 RSR160은 효율적이고 안전한 웨이퍼 처리를 위한 탁월한 선택입니다.