판매용 중고 RORZE RSC242 #9154809

RORZE RSC242 (RORZE RSC242) 는 자동 생산 라인에서 반도체 웨이퍼의 안전한 운송을 돕기 위해 사용되는 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. RORZE Robot RSC242는 로드 및 언로드, 특정 위치에 대한 웨이퍼 정렬, 다른 도구 또는 프로세스 간의 웨이퍼 전송 등 다양한 wafer 전송 작업에 사용할 수 있습니다. 직경 200mm (wafer) 의 웨이퍼를 위해 설계되었으며 반도체 산업에서 널리 사용됩니다. RORZE RSC242는 wafer 전송 미디어 (PMP&TMS 웨이퍼) 를 위해 서비스 공급자를 지원하는 알루미늄 합금 프레임으로 구성됩니다. 신뢰할 수있는 전기 공압 하위 시스템이 포함되어 있으며, 긴 서비스 수명 및 낮은 유지 관리 설계가 특징입니다. 웨이퍼 처리 서보 (wafer handling servo) 의 4 가지 동작은 동적 격리 및 내장 양성 공기 압력 제어를 갖춘 모터 모듈에 의해 제공됩니다. RSC242는 고정밀 간격 감지 및 서보 제어를 위한 소프트웨어 기술을 포함하는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이렇게 하면 웨이퍼를 로드, 정렬 및 언로드하는 동안 정확성과 반복성이 보장됩니다. 모든 공통 ASI (Automatic Standard Interface) 프로토콜은 모든 AFE (Automatic Factory Environment) 에 통합되도록 지원됩니다. 처리 범위는 소프트웨어 제어 하에 조정이 가능하며, 웨이퍼 직경을 최대 200mm (200mm) 까지 로드하고 언로드할 수 있습니다. RORZE RSC242는 또한 통합 클리닝 브러쉬 세트 및 부착 가능한 솔루션/클리닝 에이전트 컨테이너와 함께 웨이퍼 클리닝 기술을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면, 취급 과정 전후 에 "웨이퍼 '를 최적 으로 깨끗 하게 할 수 있다. 알루미늄 합금으로 만들어진 RSC242의 구조는 비교적 가볍고, 모든 자동화 생산 라인에 설치하거나 통합하기 쉽습니다 (영문). 로봇의 운동학적 정확도 (Kinematic Accuracy) 는 섀시의 마운팅 정확도와 웨이퍼의 위치 정밀도에 따라 달라지며, 이는 생산에서 정기적으로 모니터링됩니다. 결론적으로 RORZE Robot RORZE RSC242 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 생산의 높은 수익률과 효율성을 위한 강력하고 안정적인 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 통합 웨이퍼 클리닝 (wafer cleaning) 기술이 적용되었으며 웨이퍼 처리 작업의 정확하고 반복 가능하도록 설계되었습니다. 알루미늄 (aluminum) 구조의 가볍고 설치가 용이하여 모든 크기의 생산 라인에 통합이 가능하며, 전체 ASI 프로토콜 지원은 통합이 용이하고 원활한 통신을 보장합니다.