판매용 중고 RORZE RSC222 #9397075

RORZE RSC222 (RORZE RSC222) 는 반도체 업계에서 정확하고 섬세한 운영을 위해 설계된 웨이퍼 처리 로봇입니다. 고급 로봇 제어 기술과 다양한 크기의 웨이퍼 (직경 최대 8 인치) 를 이동하고 최대 6 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수있는 웨이퍼 처리 장비가 특징입니다. 이 로봇은 웨이퍼를 전송하고 정렬할 때 높은 위치 정밀도를 유지할 수 있습니다. RSC222는 3 도의 자유도와 정확한 움직임을 위해 통합 된 선형 슬라이드가있는 유연한 로봇 암을 갖추고 있습니다. 이 로봇 암은 2 축에서 수평 및 수직으로 이동하는 반면, 3 축 (z축) 을 중심으로 회전하여 6 축 작업을 지원할 수 있습니다. 이동 속도는 0.1 µm 단위로 조정할 수 있으며, 빠르고 정확한 동작이 가능합니다. 또한, 이 시스템에는 최고 속도 1,000 mm/s의 고속 및 부드러운 작동이 가능한 서보 모터가 장착되어 있습니다. RORZE RSC222는 최대 이동 속도 250 mm/s 및 가속 400 m/s2의 고속 웨이퍼 처리 장치를 사용합니다. 이 기계에는 일관된 웨이퍼 전송 및 이동을 제공하는 강력한 서보 컨트롤러도 포함되어 있습니다. 컨트롤러는 웨이퍼 저장 챔버 (Wafer Storage Chamber) 로 또는 웨이퍼를 전송할 때 빠르고 정확한 동작을 허용합니다. 게다가, RSC222 의 웨이퍼 처리 도구 (wafer handling tool) 에는 웨이퍼를 감지하고 정확하게 배치할 수 있는 내장형 비전 에셋이 장착되어 있습니다. 이 모델은 또한 강력한 근적외선 레이저를 사용하여 웨이퍼 인식 및 추적을 수행합니다. 이렇게 하면 안정적이고 균일 한 "웨이퍼 '가" 로봇' 을 왕복 한다. 전반적으로 RORZE RSC222 (RORZE RSC222) 는 강력하고 상세한 로봇 제어 장비를 갖춘 고급 웨이퍼 처리 로봇입니다. 반도체 업계에 필요한 정도의 정확성과 정밀도로 일관되고 빠른 웨이퍼 (wafer) 전송을 제공하면서 직경 8 인치까지 "웨이퍼 '를 처리할 수 있다.