판매용 중고 RORZE RR8131-005-001 #293622755

RORZE RR8131-005-001은 반도체 장비 및 기타 정밀 프로세스를위한 다축 웨이퍼 핸들러입니다. 극도의 정확성과 신뢰성이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 직경은 3 "~ 8", 두께는 0.15mm ~ 0.9mm입니다. 웨이퍼의 전송 속도 및 가속/감속은 조절 가능하며 무게는 12.6kg에 불과합니다. RR8131-005-001은 4축 회전 메커니즘을 통합하여 매우 높은 정확도로 웨이퍼를 전송하고 정렬할 수 있습니다. 이 기능은 12 인치 웨이퍼가 0.1äm의 허용 한도 내에 정렬되도록 보장합니다. 4 축 회전은 또한 X, Y 및 Z의 3 가지 축 (X, Y 및 Z) 으로 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 전송 메커니즘은 직접 드라이브 모터를 기반으로하므로 인체 공학적이고 효율적입니다. 또한, 이 모델에는 입자와 잔해로 인한 오염을 방지하기위한 벨로우 인터록 (bellow interlock) 이 포함되어 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 또한 ESD 보호를 통해 장치를 전기 정적 손상으로부터 보호합니다. 표준 구성에는 작동 중 공기 흐름을 모니터링하는 내장 공기 흐름 점검 기능이 포함됩니다. 웨이퍼 핸들러의 상태는 USB 연결을 통해 모니터링할 수 있습니다. RORZE RR8131-005-001 (RORZE RR8131-005-001) 에는 그리퍼 제어를 위한 동력 팔이 장착되어 있으며, 웨이퍼의 정확한 위치를 지정하기 위해 정확하고 안정적인 동작 제어가 가능합니다. 또한 강제 감지 기능 (Force Sensing Function) 이 기본으로 제공되어 시간이 지남에 따라 변경 사항을 감지하고 예기치 않은 부하를 감지하여 웨이퍼의 정확한 처리 및 위치를 보장합니다. 또한 사용하기 쉽고 유지 관리하도록 설계되었습니다. 이 모델은 기본 제공되는 교육 기능을 갖춘 사용자 친화적 인 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 추가 프로그래밍 없이도 쉽게 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 포함된 유지 보수 키트를 사용하여 필요한 경우, 부품을 쉽게 교체할 수 있습니다. 전반적으로 RR8131-005-001은 고정밀도 및 신뢰성 있는 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 도구입니다. 첨단 기능과 견고한 설계를 통해 모든 반도체 (semiconductor) 또는 기타 정밀도 (precision process) 를 선택할 수 있습니다.