판매용 중고 RORZE RR717L1521-3A6-231-2 #9206455

RORZE RR717L1521-3A6-231-2는 최대 600mm 300mm 웨이퍼 운송을 전문으로하는 반자동 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 산업의 클린 룸 (clean room) 및 기타 고순도 공기 환경에 사용하도록 설계되었습니다. 코어에서 RR717L1521-3A6-231-2 (RR717L1521-3A6-231-2) 에는 정확한 이동, 방향, 속도로 웨이퍼 처리 및 전송을 담당하는 통합 기계 장비와 운영 기능을위한 자동 전기 제어 시스템이 포함되어 있습니다. 기계 장치는 2 개의 선형 리프터, 1 개의 수직 리프터, 1 개의 수평 리프터, 2 개의 XYZ 축 단계 및 2 개의 최종 이펙터 암으로 구성됩니다. 이 조립품 은 "스테인레스 '강철 틀 에 담겨 있어서 튼튼 하고 믿을 만한 수송 장치 를 제공 한다. 선형 리프터 (Linear Lifters) 는 최대 600mm 높이까지 웨이퍼를 전송하는 반면, 수직 리프터 (Vertical Lifter) 는 엔드 이펙터 (End-effector) 를 트래버스해야합니다. 그들은 3 개의 스테핑 모터 드라이버로 구동됩니다. 회전 모터에 의해 구동되는 XYZ 축 (XYZ axis) 단계는 웨이퍼의 수송 및 선택/배치 동안 최종 이펙터의 정확한 이동 및 방향을 제공합니다. 개별 기능용으로 프로그래밍 된 엔드 이펙터 암을 사용하면 최대 2 개의 웨이퍼를 동시에 선택/배치할 수 있습니다. RORZE RR717L1521-3A6-231-2의 전기 기계는 X-Y 테이블, PC 기반 컨트롤러 및 EMPROM으로 구성됩니다. X-Y Tablein과 PC 기반 컨트롤러의 조합은 오픈 소스 프로그래밍 도구를 제공하여 데이터 전송 및 웨이퍼 처리를 자동화합니다. PC 기반 컨트롤러는 자산 성능과 관련된 모든 작업, 기록 데이터, 상태 신호를 제어하고 모니터링합니다. 또한 자동 오류 수정 및 흐름 제어를 담당합니다. EMPROM은 동작 프로파일과 관련된 매개변수의 미세 튜닝을 지원합니다. RR717L1521-3A6-231-2의 모듈식 설계로 설치와 서비스가 간편합니다. 이 모델은 인력과 장비를 오용으로부터 보호하는 인터 록 (Interlock) 과 안전 잠금 (Safety Lock-out) 장비로 지원됩니다. CE 규격을 준수하며 FOUP 감지를 포함하며 ESS, SPC, GEM 등의 인터페이스를 통해 통신할 수 있습니다. 무게 400kg 인 RORZE RR717L1521-3A6-231-2는 반도체 생산 중 생산성을 높이도록 설계된 검증되고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 넓은 지역의 클린 룸에서 최대 600mm 300mm 웨이퍼의 자동, 안정적인, 정확한 자동화를 제공합니다. 다목적 (versatile) 시스템은 통합 제어 장치 덕분에 반도체 (semiconductor manufacturing) 와 하이테크 (high-tech) 업계의 많은 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.