판매용 중고 RORZE RR713L1521-3A3-E11-0 #9396359
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RORZE RR713L1521-3A3-E11-0 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 정확하게 처리하도록 설계된 정밀 로봇 암입니다. 로봇 암은 360도 범위에 걸쳐 3 개의 전속 회전 (full speed rotation) 과 1300mm에 도달하여 광범위한 응용 프로그램을 제공합니다. 이 제품은 Nowcasting 생산 프로세스에 필요한 높은 정확성과 반복성을 위해 설계되었습니다. 여기서 정밀성 (Precision) 과 신뢰성 (안정성) 은 프로젝트의 성공에 중요합니다. RR713L1521-3A3-E11-0에는 3 개의 모터가 장착되어 있으며, 그 중 2 개는 중앙 1과 함께 작동하며 부드럽고 일관된 작동을 제공하기 위해 모터 컨트롤러 MAF-FC3-13에 의해 구동됩니다. 이 컨트롤러는 또한 효율적인 속도 및 위치 제어를 위해 동시 축 추적을 지원합니다. 복잡한 작업에서 정확한 처리를 달성하기 위해 로봇 암에는 20kg (How-Loading Capacity), 9300 x 9300도 회전 (Rotation) 및 각 이동 축에 맞게 조정 된 팔 (Arm) 을 포함한 다양한 고급 기능이 제공됩니다. RORZE RR713L1521-3A3-E11-0에는 팔레트 안전성과 전원 차단 장치로 구성된 정교한 안전 장비가 장착되어 있습니다. 팔레트 (Pallet) 시스템은 모든 웨이퍼 처리 작업이 깨지기 쉬운 웨이퍼를 손상하거나 운영자에게 잠재적 인 위험을 노출시키지 않고 안전하게 수행되도록 보장합니다. 전원 차단 장치 (Power Cut-off device) 는 과도한 힘으로 인한 오류 또는 사고를 방지하거나 적절한 권한 부여없이 의도적으로 팔을 밀어내는 데 도움이 됩니다. 또한 이 웨이퍼 핸들러는 자체 진단 장치가 통합된 사용자에게 손쉬운 유지 관리 기능을 제공합니다. 최대 성능 유지 (Mainting People Performance) 를 위해 설계된 이 시스템은 기본 위치 (Preferred Position) 에서 정렬 오류 또는 편차를 감지하고 전체 작업 전에 모든 이슈에 대해 Alert (경고) 하여 운영 실행 시간이 항상 충족되도록 합니다. 전반적으로 RR713L1521-3A3-E11-0은 오늘날 진화하는 반도체 제조 프로세스에 이상적으로 적합한 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 기능, 신뢰성, 정밀성 (Precision) 은 기존의 다른 로봇 암과는 별개로 설정되며, 사용자가 웨이퍼 처리 요구에 대한 견고하고, 안전하며, 정확한 솔루션을 제공합니다.
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