판매용 중고 RORZE RR713L #9383647

RORZE RR713L 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 최대 300mm 직경의 벌크 웨이퍼 및 장착 웨이퍼의 로드 및 언로드를 단순화하도록 설계된 프리미엄 웨이퍼 처리 로봇입니다. 이 "로봇 '은 반도체 제조, 대학 교육, 연구 개발, 실험 공정 등 여러 가지 응용 에 적합 하여, 보다 정밀 하고 질 있는 제어 를 할 수 있게 해 준다. 로봇은 슬롯 앤 클로 (slot-and-claw) 시스템을 사용하여 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 선택하고 배치하며 최대 24 인치 떨어진 곳에서 전송할 수 있습니다. 완전하게 자동화되었으며, 웨이퍼를 로드 및 언로드하기 위해 몇 가지 간단한 명령만 제어 장치 (Control Unit) 에 프로그래밍해야합니다. "로봇 '은 아무런 기계 부품 도 없이 직경 이 최대 300mm 인 커다란" 웨이퍼' 를 처리 하고 배치 할 수 있다. 로봇은 별도의 스테퍼 모터에 의해 제어되는 2 개의 작동 축을 특징으로하며, 초당 0.3 ~ 96mm 사이의 가변 속도 운동이 가능합니다. 최대 무게가 700g 인 웨이퍼 (wafer) 를 집어 넣도록 설계되었으며, 칩과 입자를 30m까지 감지 할 수 있습니다. 또한, 뒤틀리거나 평탄하지 않은 마운트 된 웨이퍼를 감지 할 수있는 하향 힘 탐지기 (downward force detector) 가 특징입니다. RR713L에는 로봇 먼지, 입자 및 액체를 자유롭게 유지하기 위해 중앙 집중식 공기 시스템이 있습니다. 이 점 은 "로봇 '이 작동 할 것 으로 기대 되는 청정실 환경 때문 에 연구 개발 과정 에 특히 중요 하다. 로봇은 또한 진동 방지 (anti-vibration) 기능을 가지고 있으며, 충격 센서를 사용하여 갑작스런 움직임이나 충격에 신속하게 반응하고 웨이퍼를 정확하고 안정적인 위치에 유지 할 수 있습니다. 이 로봇은 표준 연결 인터페이스 (Standard Connection Interface), 유연한 프로그래밍 형식 및 고급 안전 제어 (Safety Control) 기능을 제공하여 안전성을 높입니다. 로봇은 또한 RoHS 호환 및 CE 인증을 받았으며 안전 및 품질에 적합합니다. 이것은 연구 및 실험 프로세스를 위해 강력하고, 안정적이며, 정확한 도구입니다.