판매용 중고 RORZE RR701L90-Z20-011 #9253414

RORZE RR701L90-Z20-011 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 웨이퍼 결합 도구를 사용하여 다양한 기판과 기판 간 IC 웨이퍼의 처리 및 전송을 위해 설계된 정밀 도구입니다. 특유의 매우 정밀하고 듀얼 드라이브 디자인으로, 기판 간에 웨이퍼를 정확하게 이동할 때 최적의 정확성과 제어를 보장합니다. 또한 RR701L90-Z20-011에는 조이스틱 인터페이스 (joystick interface) 가 포함되어 있어 셔틀 속도 및 기타 처리 매개변수를 선택할 때 뛰어난 민첩성을 제공합니다. RORZE RR701L90-Z20-011에는 두 가지 주요 부품이 있습니다. 웨이퍼 스티어링 장치 (WSU) 및 기판 이동성 장치 (SMU). WSU는 모터, 기어 및 기타 컴포넌트의 매우 정확한 조합으로, 부드럽고 정확한 웨이퍼 이동을 허용합니다. SMU 는 2 개의 스테퍼 모터로 구성되며, 기판과 관련하여 정확한 위치를 지정할 수 있는 유연성을 제공합니다. RR701L90-Z20-011은 최대 450mm x 600mm (18 "x 24") 의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 정확한 닫힌 루프 제어를 위한 높은 정확도의 슬라이드웨이와 단계당 3 나노미터 (3 nanometer) 의 강력한 드라이브 해상도를 제공합니다. 슬라이드 웨이는 고정밀 볼스크루 (ballscrew) 와 Z축 스케일 (Z축 scale) 로 구성되며, 이는 기판 높이를 정확하게 제어하여 드라이브 Z축의 가장 높은 반복성을 보장합니다. 웨이퍼 핸들러에는 두 개의 독립적 인 회전 축이 있습니다. AZ 축 및 B 축. AZ 축은 동일한 평면에서 기판 사이에 웨이퍼를 전송할 때 가장 높은 정밀도 성능을 제공하는 반면, B 축을 사용하면 셔틀과 Z축의 각도를 자유롭게 조정하여 웨이퍼 프로그래밍 (wafer programming) 이 기판 이송 방향과 독립적일 수 있습니다. RORZE RR701L90-Z20-011에는 자동 정지 옵션, 재시도 논리, 과전류 보호 시스템 등의 여러 자동 기능이 장착되어 있습니다. 자동 정지 (auto-stop) 기능은 오류가 발생하면 셔틀을 중지하고 재시도 (retry) 로직은 오류를 자동으로 수정하고 처리를 계속합니다. 과전류 (over-current) 보호 시스템은 기계와 기판의 손상을 방지하며, 수작업 없이 높은 품질과 안정성을 유지합니다. RR701L90-Z20-011은 프로그래밍 및 모션 제어를 용이하게 하는 통합 그래픽 지원 프로그램도 제공합니다. 이 프로그램은 Cycle Time Display, Parameter Monitoring, Limit Switch Monitoring 등과 같은 광범위한 그래픽 및 프로그래밍 기능을 제공합니다. 전반적으로 RORZE RR701L90-Z20-011은 매우 다양하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로, 모든 유형의 웨이퍼 처리 및 결합 (bonding) 작업에서 정확한 제어 및 뛰어난 처리 성능을 제공합니다. 강력한 기능과 고급 자동화 (Advanced Automation) 의 조합으로 모든 웨이퍼 처리 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.