판매용 중고 RORZE RR700L 120-Z20-011 #9110997
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RORZE RR700L 120-Z20-011은 반도체 처리 및 제조를 용이하게하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. "실리콘 '" 웨이퍼' 를 표적 위치 에 옮기고 신속 히 배치 하도록 고도 로 정밀 하고 믿을 만한 장비 이다. 이 시스템은 WTM (Wafer Transfer Module), WMD (Wafer Manipulation Device) 및 Robot Arm의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. WTM은 웨이퍼 카세트에서 WMD로 안전하게 정확하게 웨이퍼를 로드합니다. 진공 척 (vacuum chuck), 액츄에이터 (actuator), 통합 컨트롤러 (integrated controller) 및 반 분할 제어 메커니즘으로 구성됩니다. WTM에는 인터 록 (interlock) 이 장착되어 진공 척 (vacuum chuck) 에 크고 작은 웨이퍼가 잘못 적재되지 않습니다. WMD는 장치 주위에 개별 웨이퍼를 이동합니다. 다양한 방향을 제공하며, 원하는 방향으로 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. WMD에는 토크 모터, 센서 및 X-Y-Z 포지셔닝 장치가 포함됩니다. 이 구성에서는 웨이퍼 이동 중에 클리어런스 (clearance) 문제가 발생하지 않으며 빠른 속도, 정확한 등록 및 반복 기능을 제공합니다. 로봇 암은 RR700L 120-Z20-011의 최종 구성 요소입니다. 로봇 암은 서보 암, 선형 액추에이터, 통합 컨트롤러 및 엔드 이펙터로 구성됩니다. 로봇 암 (robot arm) 은 팔로어 모듈에 웨이퍼를 픽업, 방향 지정 및 배치하도록 설계되었습니다. Wafer 프로세싱의 모든 단계에서 정확성, 반복 가능성 및 정밀도를 보장합니다. RORZE RR700L 120-Z20-011 웨이퍼 핸들러는 높은 수준의 기계적 및 전기적 정확도를 제공합니다. 견고한 알루미늄 바디 (aluminum body), 강한 스테인리스 스틸 샤프트 (stainless steel shaft) 및 정확하고 안정적인 위치를 제공하는 대형 체인 슬롯 스프로켓이 있습니다. 또한, 기계는 뛰어난 진동 저항을 제공하며 지속적인 작동을 위해 설계되었습니다. 컨트롤러는 포괄적인 오류 모니터링 (error monitoring) 기능을 제공하며, 운영자는 공구의 특정 응용 프로그램에 맞게 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 결론적으로, RR700L 120-Z20-011 웨이퍼 핸들러는 다양한 반도체 처리 및 제조 응용 분야에 완벽한 선택입니다. 고품질 기계적, 전기적 정확성, 정확성, 반복성을 제공하며 모든 유형의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 자산은 내구성이 있고, 안정적이며, 작동이 간편하므로, 수년 동안 신뢰성 있는 자동 (automated) 생산에 이상적인 솔루션입니다.
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