판매용 중고 RORZE RR304L90-514-001 #9143214

RORZE RR304L90-514-001은 복잡한 반도체 처리 작업을 간소화하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 장치는 로봇 부품 처리 시스템, 자동 웨이퍼 방향 암, XY 전송 테이블 (XY Transport Table) 및 웨이퍼 그리핑, 운반, 전송 및 로드/언로드를위한 최종 이펙터로 구성됩니다. 이 정밀 기계는 예상 웨이퍼 방향 및 치수에서 최소 편차로 희귀 또는 다중 레벨 캐리어를 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 로봇 부품 처리 장치는 서보 제어 장치, 전동 부품 급지대 및 EOAT (End-of-arm-tooling) 가 장착 된 로봇 암 (Robotic arm) 으로 구성되어 부품 급지대에서 웨이퍼를 효율적으로 잡고 이동합니다. 관련 처리 스테이션. 전동식 부품 급지대 (Motorized Part Feeder) 에는 컴퓨터에 로드할 부품이 들어 있으며, 부품의 적절한 로딩을 확인하는 센서와 부품 로드/언로드용 게이트 (Gate for Loading/Unloading Part) 가 있습니다. 고급 "로봇 '암 은" 웨이퍼' 를 처리 "스테이션 '에 정확 하고 정확 하게 배치 하고, 그 후 처리 단계 를 위하여 이전 에 처리 된" 웨이퍼' 를 집어 넣도록 계획 되어 있다. 고급 자동 웨이퍼 방향 암 (automated wafer orientation arm) 은 웨이퍼의 크기나 모양을 손상시키지 않고 90 ° 방향의 정확한 증분으로 웨이퍼를 감지하고 회전하도록 설계되었습니다. 또한, "웨이퍼 '를 설계 된 처리 방향 에 맞추어 적절 하게 조정 함 으로써, 각 처리" 스테이션' 의 적재 시간 을 최적화 하는 데 도움 이 된다. XY 수송 테이블 (XY transport Table) 은 수송 된 웨이퍼를 얇게, 연마 또는 납매와 같은 다른 처리 스테이션으로 이동하도록 설계되었습니다. 이것은 어느 정도의 정확성과 제어를 제공하는데, 특히 다중/희귀 수준의 장치에 필요합니다. 끝 이펙터 (End effector) 는 공구의 마지막 조각이며, 이동 중에 웨이퍼를 잡아서, 스테이션을 처리, 스테이션 간에 전송하고, 장치에서 처리된 웨이퍼를 로드 및 언로드하는 데 사용됩니다. RR304L90-514-001 (RR304L90-514-001) 은 복잡한 반도체 처리 문제를 정확하게 해결할 수있는 견고하고 안정적인 웨이퍼 처리 자산입니다. 로봇 암 (robotic arm) 과 엔드 이펙터 (end effector) 는 여러 캐리어를 안전하고 안전한 방법으로 각각의 처리 스테이션으로 정확하게 운송 할 수있는 반면, 자동 방향 암 (Orientation Arm) 과 XY 전송 테이블 (XY Transport Table) 은 다중 레벨 장치에 필요한 정렬 및 위치를 제공합니다. 이 장치는 결함률을 최소화하면서 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 처리하여 반도체 제품의 처리량을 향상시키도록 설계되었습니다.