판매용 중고 RORZE RACS300F-2125-17 #293607079
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ID: 293607079
빈티지: 2011
Wafer cassette
RV201-F06-A02-1 Load port
YASKAWA XU-RC820M-F01 Manipulator
YASKAWA ERCR-NS01-B004-E1Controller
YASKAWA JZRCR-NPP02-01-E1 Teaching pad
2011 vintage.
RORZE RACS300F-2125-17은 다양한 방법으로 웨이퍼를 파악하고 조작하도록 설계된 혁신적인 웨이퍼 핸들러입니다. 모션 컨트롤 (Motion Control) 과 로봇 기술 (Robotics Technology) 의 조합으로 제작되었으며 모션 컨트롤, 서보 모터, 로터리 인코더 및 포지셔너를 까다로운 실험실에 적합한 단일, 사용하기 쉬운 기계로 통합합니다. 이 로봇 시스템의 핵심 구성 요소에는 시리즈 전동 선형 액추에이터, 서보 모터, 로터리 인코더 및 포지셔너 (positioner) 가 포함됩니다. 선형 액츄에이터는 웨이퍼 처리를 위해 부드럽고 제어 된 로봇 이동을 제공하도록 설계되었습니다. 그것 은 원하는 표적 위치 로 매우 정확 하게 이동 할 수 있는 "스테퍼 모우터 '를 사용 한다. "모우터 '는 또한 높은 위치 의 안정성 과 정확성 을 보장 하는" 브레이크' 장치 를 갖추고 있다. 한편, 서보 모터 (servo motor) 는 취급을 위해 웨이퍼를 움직일 때 높은 수준의 정밀도와 속도를 달성하도록 설계되었습니다. 고급 로터리 인코더 (advanced rotary encoder) 는 여러 회전을 수행할 수 있도록 높은 각도 (high angular resolution) 를 보장하기 위해 포함되어 있으므로 웨이퍼를 조작합니다. 포지셔너는 반복성이 높은 웨이퍼의 정확한 위치를 유지할 책임이 있습니다. 프로그래밍 가능한 모션을 통해 높은 정확도와 속도로 움직일 수 있습니다. RACS300F-2125-17에는 이더넷 (Ethernet), 디지털 I/O 포트 (디지털 I/O 포트) 와 같은 다양한 인터페이스 및 입/출력 옵션이 장착되어 있어 외부 시스템 및 제어 응용 프로그램과의 통합이 가능합니다. 또한, 다양한 소프트웨어 플랫폼을 지원하므로 여러 운영 체제와 쉽게 호환됩니다. RORZE RACS300F-2125-17은 정확한 웨이퍼 조작이 필요한 고급 응용 프로그램 및 실험실에서 사용하도록 설계되었습니다. 확장 된 작동 온도 범위 (operating temperature range) 를 가지고 있어 콜룸 (colroom) 에서 청소 시설에 이르기까지 모든 환경에서 효과적입니다. 또한 작동시 운영자 및 장비의 안전성을 보장하기 위해 다양한 안전 기능 (예: 전기, 기계 연동) 으로 설계되었습니다. 전반적으로 RACS300F-2125-17 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 신뢰할 수 있고 정확한 웨이퍼 조작 시스템이 필요한 까다로운 실험실에 적합한 선택입니다. 고급 기능, 고정밀 모터, 손쉬운 통합 기능을 갖춘 RORZE RACS300F-2125-17은 다양한 실험실 어플리케이션을 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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