판매용 중고 RORZE RA7L018 #9136447

RORZE RA7L018은 마이크로 패브 청소실 시설에서 실리콘 웨이퍼의 효율적인 로드, 언로드 및 처리를 위해 설계된 결합 된 웨이퍼 핸들러 및 플라즈마 프리 클리너 (plasma pre-cleaner) 입니다. 고급 자동 장비는 고급 로봇 공학과 다중 소스 가스 전달 시스템을 결합하여 실리콘 웨이퍼의 정확하고 재현 가능한 플라즈마 클리닝 (Plasma Cleaning) 을 제공합니다. RA7L018은 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 제작되어 장기적인 내구성을 보장하며 최대 페이로드 용량이 30kg 인 강력한 3 축 로봇 암을 갖추고 있습니다. 한 번에 최대 6 개의 웨이퍼를 지원할 수 있으며 직경 36 인치까지 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. RORZE RA7L018 이 (가) 주어진 Clean Room 시설에 가장 적합한 레이아웃을 제공할 수 있도록 다양한 구성을 사용할 수 있습니다. 정확하고 재현 가능한 플라즈마 클리닝을 위해 RA7L018에는 여러 소스 가스 전달 장치 (source gas delivery unit) 및 고급 프로세스 제어 모듈 (advanced process control module) 이 장착되어 있습니다. 이 모듈은 가스압, 공정 시간, RF 전원 (Power) 을 정확하게 제어하여 특정 프로세스 요구 사항에 대한 플라즈마 클리닝 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. RORZE RA7L018에는 안전하고 자동화된 원격 작업을 위한 내장 원격 장치 인터페이스도 있습니다. RA7L018은 최대 운영자 안전 및 인체 공학을 위해 설계되었으며, 청정실 (Clean Room) 조건에서도 운영자에게 편안한 환경을 제공합니다. 웨이퍼 로드 (Wafer Loading) 및 언로드 (Unloading) 프로세스는 자동화되며, 운영자가 먼 거리에서 장치를 안전하게 작동시킬 수 있도록 닫힌 루프 머신에 통합될 수 있습니다. RORZE RA7L018 (RORZE RA7L018) 은 견고하고 신뢰성 있는 자동 웨이퍼 핸들러 및 플라즈마 사전 청소 툴로서, 광범위한 애플리케이션에 대해 정확하고 재현가능한 결과를 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 자동화된 시스템 (Automated Systems) 은 인건비를 줄이고 운영자 안전을 극대화하여 사용자에게 유연성과 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 견고한 설계, 고효율, 맞춤형 구성 옵션을 갖춘 RA7L018은 전세계 청소 시설에 고급 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 플라즈마 사전 청소 기능을 제공합니다.