판매용 중고 RORZE RA301-512-002 #9214490

RORZE RA301-512-002 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고성능 프로그래밍 가능한 로봇입니다. 이 정밀 기기는 고유하고 특허를받은 저압 공기 장비를 사용하여 웨이퍼를 제어하고 조작합니다. 256th-AX 시리즈 축은 최소 피치 각도 10 °, 최대 회전 각도 + 90 ° 의 4 가지 자유도를 제공합니다. 동작 속도 범위는 1000 mm/s의 사양 속도로 조정할 수 있습니다. RA301-512-002 는 고속, 광역 웨이퍼 (wafer) 중심 시스템을 갖추고 있어 각 웨이퍼가 처리 영역에 정확하게 집중되어 있습니다. 이 장치는 고정밀 스케일, 롤러, 포지셔닝 나사 2 개 및 360 ° 편심 스핀들로 구성됩니다. 이중 척 (chuck) 설계는 흔들림없이 처리 영역에 웨이퍼를 정확하게 중심 할 수 있도록 합니다. RORZE RA301-512-002의 로봇 암에는 통합, 자체 조정 선형 모션 레일이 있으며, 이 레일을 사용하면 매끄럽고 거친 동작이 가능합니다. 4 개의 관절은 > = 5 Hz의 속도로 움직일 수 있으며 팔은 > = 30 Hz의 속도로 회전할 수 있습니다. 팔의 작동 스트로크는 600mm이고 반복 가능한 정확도는 +/-0.01 mm입니다. RA301-512-002는 또한 피치 및 롤 (roll) 방향보다 우세한 자기 경계 제어 기계를 갖추고 있습니다. RORZE RA301-512-002 (RORZE RA301-512-002) 는 내구성이 뛰어난 경량 금속 프레임으로, 대규모 산업 어플리케이션을 위한 탁월한 지원 기능과 향상된 성능을 제공합니다. 팔 은 내구성 있는 "알루미늄 '틀 과" 스크래치' 와 녹슬 에 저항 하는 특수 한 처리 된 표면 으로 보호 된다. 이 웨이퍼 핸들러에는 감지 제한 센서 (sensor for limit detection), 비정상적인 값이 감지되면 자동 비상 정지 (automatic emergency stop), 망치질 힘 모니터 (hammering force monitor) 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 안전하고 정확하게 처리됩니다. 마지막으로 RA301-512-002는 쉽게 설치할 수 있도록 설계되었습니다. 4 개의 장착 볼트와 간단한 설치 지침이 제공됩니다. 직관적 인 소프트웨어 인터페이스를 통해 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 간단하지만 강력한 내장 (BIST) 프로그래밍 기술을 사용하여 다양한 애플리케이션의 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다.