판매용 중고 RORZE EFEM #9255471

RORZE EFEM은 반도체 처리를 위해 설계된 차세대 웨이퍼 처리 플랫폼입니다. 최첨단 구성 요소, 하이엔드 자동화, 다양한 제어 기능을 결합하여 뛰어난 사용자 환경을 제공합니다. EFEM 시스템에는 로드/언로드 단계, 웨이퍼 단계 및 전송 단계가 포함됩니다. 로드/언로드 단계 (loading/unloading stage) 에는 테이블의 각 끝 근처에 2 개의 모터가 위치하여 스토리지 캐리어에서 웨이퍼를 효율적이고 정확하게 전송할 수 있습니다. 또한 웨이퍼의 존재를 감지하는 포지션 센서 (position sensor) 와 향상된 성능을 위한 비전 시스템 (vision system) 이 특징입니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 드라이브 스핀들을 제어하기위한 회전식 솔레노이드와 웨이퍼를 고정하는 척 (chuck) 을 갖춘 정밀 모터로 구성됩니다. 고속 회전 및 진동이 가능하며, 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 전송 단계 (transfer stage) 에는 한 단계에서 다른 단계로 빠르고 정확하게 웨이퍼를 옮길 수있는 2 개의 발톱 장치가 있습니다. 또한 RORZE EFEM에는 일련의 정교한 제어 기능도 포함되어 있습니다. 직관적이고 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스가 특징이며, 그래픽 디스플레이를 통해 웨이퍼 위치 (Wafer Position) 및 상태 (Status) 에 대한 실시간 정보를 제공합니다. 또한 PID 제어 (PID Control) 를 사용하면 웨이퍼 단계 및 전송 단계의 속도, 압력, 토크에 대한 특정 대상 값을 설정할 수 있습니다. 이 시스템은 최적의 성능을 위해 다양한 명령과 매개변수로 프로그래밍할 수 있으며, 최대 30 개 구성을 저장할 수 있습니다. 마지막으로, EFEM은 안전성과 신뢰성을 염두에 둔 안전한 운영을 위해 설계되었습니다. 도어 스위치, 안전 로프, 웨이퍼 감지 센서를 포함한 여러 안전 시스템이 특징입니다. 또한 진동을 최소화하고 웨이퍼의 손상을 방지하도록 설계되었습니다. RORZE EFEM (RORZE EFEM) 은 웨이퍼 처리에서 탁월한 성능을 제공하여 효율적인 반도체 처리를 위한 탁월한 자동화 수준을 제공합니다. 최첨단 구성 요소와 정교한 제어 기능을 결합하여, 사용하기 쉽고 안전한 운영 기능을 통해 고급 사용자 환경을 제공합니다 (영문).