판매용 중고 RORZE EFEM #9148543

RORZE EFEM은 반도체 제조업체의 요구를 충족하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 로봇 장비는 정확한 웨이퍼 처리를 위해 진공 흡입 장치를 갖춘 움직이는 로봇 암 (robot arm) 을 갖추고 있습니다. 고정밀도 웨이퍼를 배치하도록 설계된 완전 자동화 시스템 (Fully Automated System) 으로, 이전보다 빠르고 정확한 워크플로를 구현할 수 있습니다. EFEM 장치는 4 가지 주요 구성 요소 (로봇 암, 로봇 컨트롤러, 비전 카메라 유닛 및 진공 흡입 헤드) 로 구성됩니다. 로봇 암에는 정밀 웨이퍼 로딩 및 언로딩을위한 내장 힘 센서가 장착되어 있습니다. 또한 최대 6 인치 웨이퍼를 분당 180 사이클 (CPM) 의 속도로 선택할 수 있습니다. "로봇 '" 컨트롤러' 는 여러 가지 고급 "프로그램 '과 옵션 을 갖춘 정교 한 기계 로서, 융통성 있고 정확 한" 웨이퍼' 배치, 그리고 데이터 수집 및 모니터링 이 가능 하다. 비전 카메라 장치는 HD 카메라를 활용하여 프로세스 중에 웨이퍼를 효과적으로 감지하고 모니터링합니다. 진공 흡입 머리 는 "웨이퍼 '를 손상 시키지 않고 안전 하고 정확 하게 집어 올릴 수 있도록 설계 되었다. RORZE EFEM (RORZE EFEM) 은 와퍼를 빠르고 정확하게 처리 할 수있는 용량뿐만 아니라, 프로세스의 효율성을 더욱 향상시키는 여러 가지 기능도 제공합니다. 웨이퍼 (wafer) 표면에서 흐릿한 이미지를 감지할 수 있는 블로우 패스 (blow-path) 감지 도구와 정확한 결과를 얻을 수 있는 시력 정렬 에셋이 내장되어 있습니다. 또한, 잘못 정렬된 부품을 감지하고 자동 교정을 수행하는 기능이 있습니다. EFEM은 업계에서 가장 엄격한 제조 요구 사항을 지원하도록 설계되었습니다. CE 규정을 준수하며 일관성 있고 고성능 결과를 보장하도록 테스트되었습니다. 또한, 이 장치에는 진동을 최소화하고 웨이퍼 배치 공정의 정확성과 정밀도를 극대화하는 통합 충격 흡수 장치 (Integrated Shock Sovorber) 가 장착되어 있습니다. 전반적으로 RORZE EFEM (RORZE EFEM) 은 고급 자동 웨이퍼 핸들러로, 오늘날 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 정확성과 속도로 성능을 발휘할 수 있습니다. 이 제품은 정교한 구성요소와 자동화된 솔루션을 통해 기대치를 초과할 수 있어 효율적이고, 정확한 웨이퍼 (wafer) 처리에 매우 적합합니다.