판매용 중고 RORZE CURR-0635-2 #9143218

RORZE CURR-0635-2
ID: 9143218
Robot drivers.
RORZE CURR-0635-2 웨이퍼 핸들러는 모든 종류의 연구 등급 웨이퍼를 효율적으로 관리, 생산 및 공급하는 완전 자동화 장비입니다. 6 인치, 8 인치 및 12 인치 웨이퍼의 처리를 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 핸들러 (Handler) 는 다양한 웨이퍼 유형 (Wafer Type) 과 크기 (Size) 를 빠른 속도로, 최소 수의 결함으로 정확도로 제공할 수 있으며, 높은 출력 수율을 제공합니다. 웨이퍼 핸들러에는 산업용 로봇으로 제어되는 고정밀, 5 축 조작기 암이 장착되어 있습니다. 로봇 제어 암은 최대 처리량을 위해 최대 100mm/s의 속도로 웨이퍼를 이동합니다. 또한, "로봇 '암 을 사용 하여 완전 한 360도 범위 를 통하여" 웨이퍼' 를 회전 시키고 기울여 "웨이퍼 '를 그 들 의 조작 을 위해 원하는 위치 에 높은 정확도 로 배치 할 수 있다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 또한 핸들러에 웨이퍼를 고정하고 배치하기위한 진공 척 시스템을 갖추고 있습니다. 이것은 하나의 웨이퍼에서 다른 웨이퍼로의 완전한 안정성과 낮은 변화를 보장합니다. "커킹 '장치 는" 웨이퍼' 를 "핸들러 '에 정확 하게 배치 할 수 있게 해 주며" 웨이퍼' 처리 과정 의 속도 와 정확도 를 크게 높인다. 기계 는 또한 각 "웨이퍼 '에 자동 중심부 와 정렬 을 갖추고 있어서, 조종" 암' 은 "웨이퍼 '를 올바른 방향 으로 정확 하게 배치 한다. 자동 중심 처리 및 정렬 기능 (automatic centering and alignment feature) 을 사용하면 웨이퍼 처리 과정에서 적절한 방향에 대해 기판의 각도를 수동으로 조정할 필요가 없습니다. CURR-0635-2 웨이퍼 핸들러에는 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 가 장착되어 있으며 트리거하면 즉시 모든 작업이 중지됩니다. 또한 공구에는 광 센서 (optical sensor) 가 장착되어 있는데, 이 센서는 웨이퍼 배치가 잘못되었거나 핸들러의 결함이 감지된 경우 자동으로 작업을 중지합니다. RORZE CURR-0635-2 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 실시간 모니터링 및 제어 자산이 장착되어 있어 모델의 성능에 대한 자세한 피드백을 제공합니다. 이 피드백은 운영자에게 주기 시간, 웨이퍼 처리량, 온도, 진공 및 센서 판독값, 로봇 암 상태 등 현재 작동에 대한 자세한 정보를 제공합니다. CURR-0635-2 웨이퍼 핸들러 (CURR-0635-2 wafer handler) 는 효율적이고 안정적인 자동 장비로, 웨이퍼 처리 및 처리에서 매우 정밀하게 작동합니다. 저품질 웨이퍼 (wafer) 와 저품질 웨이퍼 (Wafer), 저품질 웨이퍼 (FAR), 저품질 웨이퍼 (FAR), 저품질 웨이퍼 (FAR), 저품질 웨이퍼 (Quality Waf
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