판매용 중고 RORZE AM-WSS-02 #9392388
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RORZE AM-WSS-02는 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 최고급 웨이퍼 핸들러입니다. AM-WSS-02 는 한 번에 최대 42 개의 웨이퍼 또는 디스크를 조작할 수 있으며, 고속 (high-speed) 주행 및 높은 처리량을 위한 정확한 위치 지정 기능을 갖추고 있습니다. RORZE AM-WSS-02는 로봇 암을 사용하여 카세트 상자와 처리 실 사이에서 웨이퍼를 이동합니다. 이 "로봇 '암 에는 두 개 의 명백 한 관절 이 장착 되어 있어서, 운동 과 정확도 가 뛰어나다. 로봇 암은 최대 9.8 m/s 의 속도를 낼 수 있으며, 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 이동할 수 있습니다. AM-WSS-02는 또한 통합 비전 시스템 (Integrated Vision System) 을 통해 로봇 암이 개체를 정확하게 식별하고 3 차원 공간에서 여러 개체의 위치를 감지 할 수 있습니다. 정확한 조사를 위해 RORZE AM-WSS-02는 웨이퍼 힘을 측정하고 조정하는 일련의 센서와 액츄에이터를 갖추고 있습니다. 힘 센서 (Force sensor) 는 웨이퍼와 로봇 암 사이의 접촉력을 측정하는 반면, 힘 제어 (force control) 알고리즘은 웨이퍼의 정확한 배치 및 이동을 허용합니다. 액츄에이터는 또한 로봇 암의 정확한 위치를 지정하여 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 강력하고 다양한 기능을 갖춘 AM-WSS-02는 모든 칩 제조 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 고속 "로봇 '암, 힘" 센서', 정밀 비전 시스템을 조합하면 와퍼를 정확하게 처리해야 하는 모든 작업에 완벽한 선택이 가능합니다. 액추에이터 (actuator) 와 힘 제어 알고리즘 (force control algorithm) 을 포함하면 로봇 암이 섬세한 물체의 정확하고 안전한 처리를 위해 이동 속도를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이것은 RORZE AM-WSS-02를 모든 반도체 제조 시설에서 귀중한 자산으로 만듭니다.
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