판매용 중고 RORZE ACE 300 #9250463

RORZE ACE 300은 반도체 및 관련 산업의 고성능 200mm 웨이퍼 처리 및 처리를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 최첨단 2축 서보 모터 드라이브 장비를 통해 소음 및 진동을 최소화하고 200mm 웨이퍼를 조작 할 때 탁월한 정확도를 제공합니다. 2 축 드라이브 시스템은 선형 Y축과 고속 회전 X축으로 구성되며, 각각 서로 독립적으로 작동합니다. ACE 300은 신뢰성이 높으며 최고 +/- 0.8 미크론의 고급 정확도를 갖습니다. 직경 150mm ~ 300mm 범위의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 최대 웨이퍼 회전 속도는 초당 300도입니다. 웨이퍼는 반대쪽에 안전하게 장착되고 지원되며, 동작 중에 롤러 및 피치 산만제를 최소화합니다. 핸들러에는 안전 셔터 유닛 (Safety Shutter Unit) 이 장착되어 머신에 방출 될 때까지 웨이퍼가 교체되지 않습니다. 이를 통해 웨이퍼는 정확하고 최대한의 안전성으로 처리됩니다. 또한 웨이퍼 사전 정렬을 위해 고급 다중 영역 진공 컨트롤러를 사용합니다. 또한 Wafer Pre-Alignment Fixture를 내장하여 Wafer 를 손쉽게 수동으로 로드하고 언로드할 수 있으며, Loading 에 소요되는 시간과 노력을 최소화합니다. 비품은 다른 유형의 웨이퍼에 대해 쉽게 조정하고 최적화 할 수 있습니다. RORZE ACE 300은 매우 직관적이고 사용자 친화적이며, 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하는 그래픽 터치 스크린 디스플레이가 포함되어 있습니다. 따라서 연산자가 사용자정의 매개변수를 프로그래밍하고 프로세스의 각 단계를 모니터링하는 것이 매우 편리합니다. 200mm 웨이퍼를 매우 효율적이고 정확한 방식으로 처리, 처리할 수 있습니다.