판매용 중고 RORZE 1VRR8140 #9195319

RORZE 1VRR8140은 반도체 생산 프로세스를 위해 설계된 단일 레인, 자체 포함 웨이퍼 핸들러입니다. RORZE에서 제조되었으며 정확하고 고속 제어 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 이 제품은 중력 (Gravity) 및 진공 운송 시스템 (Vacuum Transport System) 의 웨이퍼를 처리 및 전송하는 데 매우 효율적이고 신뢰할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 1VRR8140 웨이퍼 핸들러에는 2 축 간트리, 단일 웨이퍼 트랜스퍼 암 및 동력 카세트-카세트 전송 메커니즘이 포함되어 있습니다. 200mm, 150mm 및 125mm 직경의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며 양방향 또는 단방향 로봇 동작 옵션을 제공합니다. Gantry 드라이브 메커니즘은 고속 가속 기능과 최대 속도 20 m/s의 리니어 모터를 기반으로합니다. 웨이퍼 전송 암은 웨이퍼 크기를 수용하도록 수정할 수 있습니다. 웨이퍼 파악을위한 진공 소스가 장착되어 있습니다. RORZE 1VRR8140 웨이퍼 핸들러는 유연한 표면 실장 (surface mount) 기술과 사내 모션 제어로 설계되어 완벽한 프로그래밍 가능한 모션 기능을 제공합니다. 카세테 장착 웨이퍼를 최대 각도 방향 ± 7 ° 및 정확도 .003mm까지 정확하게 배치 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 또한 최대 4 축 회전의 정밀 스핀들 크기를 가지며, 이를 통해 여러 웨이퍼 방향을 설정할 수 있습니다. 장비에는 또한 2 개의 카세트 스테이지 (cassette stage) 또는 카세트 (cassette) 와 플레이트 스테이지 (plate stage) 사이에서 웨이퍼를 옮길 수있는 이중 엔드 웨이퍼 전송 메커니즘이 있습니다. 1VRR8140 웨이퍼 핸들러의 성능은 지능형 제어 시스템에 의해 더욱 향상되었습니다. 이 장치는 동작 및 조정 매개 변수에 대한 폐쇄 루프 피드백 루프 (closed-loop feedback loop) 와 온라인 모니터링 및 자체 조정 기능을 제공합니다. 또한 이더넷, DH + 및 피어 투 피어 통신을 포함한 여러 통신 프로토콜을 지원합니다. 또한, 웨이퍼 핸들러는 다양한 비전 시스템과 호환되며, 고해상도 이미지 캡처 (High Resolution Image Capture) 및 사양 외 (Out-of-Spec) 컴포넌트를 식별하고 피할 수 있는 기능을 제공합니다. 정교한 제어기 외에도 RORZE 1VRR8140 웨이퍼 핸들러에는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 이동 중 웨이퍼가 손상되지 않도록 하는 연동 도구 (Interlock Tool) 와 안전 센서 (Safety Sensor) 가 포함되어 있어 처리 영역에 대한 침입이 감지됩니다. 또한, 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 웨이퍼 영역에 외부 요소가 있는지 감지할 수 있으며, 이는 웨이퍼가 오염되지 않도록 도와줍니다. 전반적으로, 1VRR8140 웨이퍼 처리기는 정확하고 효율적인 웨이퍼 처리가 필요한 모든 생산 환경에 적합한 선택입니다. 견고한 설계, 정교한 제어 자산, 다양한 안전 (safety) 기능을 통해 안정적이고 신뢰할 수 있는 선택이 가능합니다.