판매용 중고 RENA WTS Unification #9267706

ID: 9267706
Unloader Control cabinet (WxDxH): 1600 mm x 500 mm x 2200 mm.
RENA WTS Unification은 전자 산업을위한 웨이퍼를 처리하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 자동화된 청소실 처리와 레이저 기반 추적성을 결합한 "웨이퍼 핸들러 (wafer handler) '다. 레이저 (Laser) 기반 장비를 사용하면 추가 마크를 넣지 않고 웨이퍼를 저장, 추적할 수 있으므로 초청소 (Ultra Clean) 환경 제조에 사용할 수 있습니다. 오토메이션 시스템 (Automation System) 은 스토리지 (Storage) 에서 대상 (Destination) 으로 신속하게 웨이퍼를 전송하는 한편, 안전하게 배치되고 설명됩니다. WTS Unification은 Carousel 운송 장치와 Cassette-to-Cassette 교환 머신의 두 가지 특수 취급 시스템을 갖추고 있습니다. 회전 목마 도구 (Carousel tool) 는 단거리 웨이퍼 운송을 위해 설계되었으며 길이는 최대 200mm입니다. 스테인리스 (Stainless) 섀시와 프로그래밍 가능한 모터로 구성되며, 다양한 응용 프로그램의 요구에 맞게 다양한 속도, 온도, 습도 설정으로 사용할 수 있습니다. 카세트-카세트 교환 자산 (Cassette-to-Cassette exchange asset) 은 두 카세트 사이에서 웨이퍼를 신속하게 교환하여 기계 사이에서 이동 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델은 기계적 접점 (mechanical contact) 이 없으며 정밀 스테퍼 모터에 의해 구동되므로 신뢰할 수 있습니다. 에지 치핑 (edge chipping) 을 줄이기 위해 웨이퍼가 자동으로 중지되고 인덱스화됩니다. 웨이퍼가 손실되지 않도록 장비에는 광학 레이저 기반 추적 시스템 (Traceability System) 도 포함되어 있습니다. 각 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 에서 데이터를 캡처하여 웨이퍼가 설명됩니다. 이렇게 하면 손실되거나 손상된 모든 웨이퍼를 신속하게 식별하고 교체할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 인터페이스, 소프트웨어 도구, 구성 기능을 갖춘 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 사용자 인터페이스 (user interface) 를 사용하면 간단하고 직관적인 웨이퍼 핸들러 설정 (setup of the wafer handler) 을 통해 신속하게 켜고 실행할 수 있습니다. 전반적으로 RENA WTS Unification (RENA WTS 통합) 은 전자 산업의 요구를 충족시키는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 자동화된 처리 (automated handling) 및 추적 능력 (traceability) 의 독보적인 조합은 프로세스의 복잡성에 관계없이, 웨이퍼를 처리하기 위한 안전하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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