판매용 중고 RENA WTS Distribution #9190348

RENA WTS Distribution은 정확성과 반복성이 높은 얇고 연약한 웨이퍼를 전송하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 핸들러입니다. 다기능 로봇 암, 독립형 운송 장비, wafer pre-aligner 등 다양한 기능을 제공합니다. 로봇 암은 고급 3 축 시스템을 사용하여 3 차원 공간의 하중 점에 도달합니다. 독립형 수송 장치 (Standalone Transport Unit) 는 정확성이 손상되지 않고 최대 안전 및 웨이퍼 처리 속도를 보장하도록 특별히 설계되었습니다. 통합 웨이퍼 사전 정렬기는 처리 전에 각 웨이퍼를 독립적으로 확인, 조정, 정렬할 수 있습니다. WTS Distribution (WTS 배포) 은 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 대용량 생산 환경에서 최대 1200mm/s 속도로 정확성과 반복성으로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. "로봇 '암 에는 조정 가능 한 기본" 클립' 이 있어서 "웨이퍼 '를 정결 하게 집어서 움직 이는 데 필요 한 작동기 압력 을 쉽게 조정 할 수 있다. 통합된 비전 머신 (vision machine) 은 웨이퍼의 위치를 감지하고 한 단계에서 결함을 감지하여 전반적인 생산 효율을 높일 수 있습니다. RENA WTS Distribution은 처리 기능 외에도 정교한 웨이퍼 처리를 위한 고급 프로세스 제어 기능도 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 프로그램 메모리, 저장된 레시피 양, 다국어 지원, 레시피 로딩, 사용자 수준 암호 등 다양한 기능을 통해 프로그래밍이 용이합니다. 이 도구에는 또한 PID 제어 알고리즘을 사용하여 사전 프로그래밍 된 명령을 정확하게 따르는 초정밀 모션 컨트롤러 (ultra-precise motion controller) 가 있습니다. WTS Distribution은 실리콘, 세라믹, 사파이어 등 다양한 웨이퍼 재료를 수용 할 수 있습니다. 이 자산은 회전식 웨이퍼 카세트 (Rotatable Wafer Cassette) 와 높이가 다른 빠른 조정성을 갖춘 다양한 클린 룸 (Cleanroom) 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 동작 경보 (motion alarm), 총 감지 (total count detection) 및 기압 감지 (air pressure detection) 와 같은 모니터링 기능이 있으며 안전하고 안정적인 처리 프로세스를 제공합니다. 종합적인 설계는 가동 중지 시간을 줄이고, 운영자 오류를 최소화하고, 웨이퍼 처리의 정확성을 극대화하는 데 도움이 됩니다.